氟化非晶碳基薄膜摩擦学行为对配副材料的依赖性-摩擦学学报.PDF

第 37 卷 第 3 期 摩 擦 学 学 报 Vol 37 No 3 2017 年 5 月 Tribology May, 2017 DOI: 10.16078/j.tribology.2017.03.011 氟化非晶碳基薄膜摩擦学行为对 配副材料的依赖性 1,3 1 1* 2 1 王 福 , 鲁志斌, 张广安 , 王立平, 薛群基 (1. 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室，甘肃 兰州 730000; 2. 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 海洋材料与防护技术重点实验室，浙江 宁波 315201; 3. 中国科学院 中科院大学，北京 100049) 摘 要: 为了系统研究氟掺杂对非晶碳基薄膜摩擦学行为的影响，以C H 和CF 为气源，通过等离子体增强化学气相 2 2 4 沉积方法制备不同F含量的非晶碳基薄膜. 采用XPS、SEM、Raman光谱以及纳米压痕等技术测定薄膜的微观结构、 化学组成和力学性能，利用球-盘式往复摩擦试验机评价薄膜与不同配副材料的摩擦磨损性能. 结果显示：较低F含 量并未显著影响薄膜与强碳黏着对偶Ti、WC和Si N 的摩擦系数；少量F原子掺杂明显增加了薄膜与弱碳黏着对偶 3 4 ZrO 和Al O 的摩擦系数；薄膜与GCr15对偶的摩擦系数随F含量增加而明显升高；高F含量导致薄膜与Cu对偶的摩 2 2 3 擦系数产生明显波动，而导致薄膜与Al对偶的摩擦系数显著增加；值得注意的是，高F含量薄膜在不同体系中都表现 出高摩擦低磨损的特点. 高活性F原子与对偶材料的摩擦化学作用能够合理解释不同体系摩擦学行为. 关键词: 非晶碳基薄膜; 氟; 摩擦; 磨损; 摩擦化学 中图分类号: TH117.3 文献标志码: A 文章编号: 1004-0595(2017)03–0357–07 Mating Material-Dependence of Tribological Behavior of Fluorinated Amorphous Carbon-Based Films 1,3 1 1*