电浆基础原理.PDF

第五章 電漿基礎原理 1 電漿的成分 • 電漿是由中性原子或分子、電子(- ）和正電離 子所構成 1. 游離率主要決定於電漿中的電子能量 2. 在大部分的電漿製程反應室中，游離率 都低於0.001% 3. 高密度電漿（HDP ）源的游離率就高 得多，大約1% 4. （太陽中心處的游離率就大約100% ） 2 平行板電漿系統 陰極 射頻功率 暗區 電極 電漿 或 鞘層 至真空幫浦 3 離子化 • 在氣體中隨時存在之游離電子在電場下加速獲得能 量 • 電子與一個原子或分子相碰撞 • 使一個軌道電子脫離核子的束縛產生更多之電子 e ＊+ A A+ + 2 e • 離子化碰撞產生電子和離子 • 它維持穩定電漿 4 離子化的描述 原子核 原子核 自由電子 軌道電子 自由電子 5 激發-鬆弛 e * + A A* + e A* A + hν(Photos) • 不同的原子或分子有不同的軌道結構和能階，因此 它們的發光頻率也就不同，這說明了為何不同的氣 體在電漿中會呈現出各種不同的顏色 • 電漿發光顏色因氣體成份改變而改變,可被用來作 為決定蝕刻和反應室清潔步驟的終端點（endpoint ） 6 分解 • 當電子和分子碰撞時，可以打斷化學鍵 並且產生自由基: e- + AB A + B + e- • 自由基至少有一個未成對電子，化學上 非常活潑 • 增進化學反應速率 • 對蝕刻製程和CVD來說非常重要