锑化铟离子注入退火技术研究-激光与红外.PDFVIP

第４３卷　 第１２期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４３，Ｎｏ．１２ 　 ２０１３年１２月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｄｅｃｅｍｂｅｒ，２０１３ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１３）１２１３７２０４ ·红外材料与器件 · 锑化铟离子注入退火技术研究 李海燕，杜红艳，赵建忠 （华北光电技术研究所，北京 １０００１５） ＋ 摘　要：对锑化铟（ＩｎＳｂ）铍离子（Ｂｅ）注入后的快速退火技术进行了研究，并对不同退火温度 和时间的晶片进行了工艺实验，通过测试其ＰＮ结Ｉ－Ｖ特性，对比了不同快速退火条件对ＰＮ 结特性的影响，确定在一定快速热退火条件下可以获得高质量的ＰＮ结，并对试验结果进行了 分析。 关键词：锑化铟；离子注入；快速热退火 中图分类号：ＴＮ