原子力显微镜摩擦力标定的改进楔形法.PDFVIP

第 卷 第 期 中 国 表 面 工 程 ２４ ４ Ｖｏｌ．２４ Ｎｏ．４ 　 　 　 　 　 年 月 ２０１１ ８ ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ａｕｕｓｔ ２０１１ ｇ ： ／ ｄｏｉ１０．３９６９ ．ｉｓｓｎ２０１１．０４．０１５ ｊ 原子力显微镜摩擦力标定的改进楔形法 陈天星，张向军，孟永钢 （清华大学 摩擦学国家重点实验室，北京 １０００８４） 摘 要：原子力显微镜（ ）摩擦力的标定是利用 测量微载荷下表面间摩擦力需要解决的一个难题。传统的 ＡＦＭ ＡＦＭ 　 Ｏ ｌｅｔｒｅｅ楔形标定法没有考虑表面黏着力对摩擦力的影响，当载荷较小时，标定出的摩擦因数与真实值相比偏小。文中 ｇ 在 Ｏ ｌｅｔｒｅｅ法的基础上，推导出一种原子力显微镜摩擦力标定的改进楔形法。利用改进楔形法，分别在标准光栅和聚 ｇ 焦离子束刻蚀（ ）加工出的斜坡样品上对摩擦力进行了标定。试验结果表明，与常用的标准光栅相比，利用聚焦离子 ＦＩＢ 束刻蚀出的样品能够得到更多的有效数据，标定结果更为准确。将改进楔形法和 Ｏ ｌｅｔｒｅｅ法的标定结果进行了比较， ｇ 结果表明，在载荷较低时（ ），改进楔形法更为准确；载荷较高时（ ）， 法与改进楔形法得到的结果相 ＜６ Ｎ ＞６ Ｎ Ｏ ｌｅｔｒｅｅ μ μ ｇ 近。改进楔形法是一种更为准确的原子力显微镜摩擦力标定的方法。 关键词：原子力显微镜；摩擦力标定；楔形标定法；聚焦离子束刻蚀 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） Ｏ３１３．５ Ａ １００７９２８９２０１１０４００７００６ 　　　　 　　　　　 犐犿 狉狅狏犲犱犠犲犱犲犕犲狋犺狅犱狅犳狋犺犲犃犉犕犉狉犻犮狋犻狅狀犉狅狉犮犲犆犪犾犻犫狉犪狋犻狅狀 狆 犵 ， ， ＣＨＥＮＴｉａｎ ｘｉｎ ＺＨＡＮＧＸｉａｎ ｕｎ ＭＥＮＧＹｏｎ ａｎ ｇ ｇｊ ｇｇ ｇ （ ， ， ） ＳｔａｔｅＫｅ ＬａｂｏｒａｔｏｒｏｆＴｒｉｂｏｌｏ ＴｓｉｎｈｕａＵｎｉｖｅｒｓｉｔ Ｂｅｉｉｎ １０００８４ ｙ ｙ ｇｙ ｇ ｙ ｊｇ 犃犫狊狋狉犪犮狋： （ ） Ｔｈｅｆｒｉｃｔｉｏｎｆｏｒｃｅｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｏｆｔｈｅａｔｏｍｉｃｆｏｒｃｅｍｉｃｒｏｓｃｏ ＡＦＭ ｉｓａｍａｏｒ ｒｏｂｌｅｍｆｏｒｔｈｅｆｒｉｃｔｉｏｎｆｏｒｃｅ