国家同步辐射研究中心出国报告书出国人姓名林明泉出国-NSRRC.PDFVIP

國家同步輻射研究中心 出國報告書 出國人姓名：林明泉 出國日期：2011 年 12月 18日至 21日 目的地 國家、城市 ( ) ：日本 茨城縣 Tsukuba及水戶 考察、研究訓練地點： KEK及加工廠商金屬技研 1/4 一、目的 本次出國考察的主要目的是拜訪 KEK的古屋貴章教授，請教超導高頻 共振腔模組之一些技術細節及於 KEK 組裝及測試的時程安排，並赴加工廠 商「金屬技研」處參加本中心訂購之第二及第三號超導高頻共振腔體之真 空退火作業。超導高頻共振腔模組之承製廠商三菱重工亦派一位代表奈良 先生至「金屬技研」監督退火作業之進行。 二、行程 12月 18日下午搭機出發，晚上到達東京羽田機場。再搭巴士前往筑波市， 再換搭當地巴士至 KEK ，住宿於招待所。 12月 19日上午 8時 30 分與古屋貴章教授及羅志宏會合，由古屋貴章教授 開車前往位於水戶之加工廠商「金屬技研」 ，約於上午9時 30 分抵達。 12月 19日晚上 11時 10 分完成真空退火作業之全部加溫作業，11時 30 分 離開金屬技研，由古屋貴章教授開車回 KEK 。 12月 20日凌晨 0時 30 分回到 KEK 。上午10時 30 分會合羅志宏後，拜訪 古屋貴章教授，請教超導高頻共振腔模組之一些技術細節，並討論後續超 導高頻共振腔模組於 KEK 組裝及測試的時程安排。 12月 21日上午搭巴士至筑波市，再換搭巴士前往東京羽田機場，下午搭 機返台。 三、內容摘要： A. 超導高頻共振腔體之退火作業 12月 19日上午 9時 30 分與古屋貴章教授及羅志宏抵達位於水戶之加 工廠商「金屬技研」時，三菱重工之代表奈良先生已經在現場；隨即與 金屬技研之技術人員開會。金屬技研事先於 12月 2日至 16日，持續對 此次作業要使用的真空加熱爐及夾具等，進行先期烘烤作業測試及量測 作業，確認真空加熱爐之狀況適合進行此次超導高頻共振腔體之退火作 業。作業前會議重點如下: (1) 從 12/2開始至 12/14 共進行 16 次的先期烘烤作業 (1100℃ …， 4hr …) ，最後達到的真空度為3.5E-7 torr (pump 端) 、7.6E-6 torr (RGA 端) 。 2/4 (2) RGA測量結果 O2的含量極低，證明熱處理爐沒有洩漏的情況，可 以進行超導高頻共振腔體之退火作業。 (3) 本次一爐同時進行 2個共振腔體之退火作業。 (4) MHI 準備了三片鈮板樣品，但不是經過 skin pass的材料。 後續詳細作業時間及進度如下： 10:00 開始進行 #2及 #3 共振腔體安置於鈦金屬箱體底部夾具的程序，並放入 3 片鈮板樣品(50×100×2t)(下墊鈮箔 ) 。最後蓋上鈦金屬箱體的上蓋。過 程中金屬技研之技術人員全程戴口罩及白布手套加塑膠手套。 11:00 共振腔體移入至熱處理爐的冷卻室，開始抽氣(加熱室已在真空狀態) 。 13:30 冷卻室真空約 3.0E-3 Torr 、加熱室真空達到6.5E-6 Torr ，冷卻室與加熱 室之間的隔離閥打開，將共振腔體移入加熱室，確認鈦金屬箱的位置正 確後，將隔離閥關閉，繼續抽氣。 13:44 加熱室真空達到 1.2E-5 torr ，開始升溫(Heater power on) 。 升降溫曲線: 210 min由室溫升溫至 400℃，之後維持定溫 30 min 。使溫度均衡(