[材料科学]101101材料研究测试方法51电子光学基础.ppt

第5章 电子光学基础 引言 电子波与电磁透镜 电磁透镜的像差和分辨本领 电磁透镜的景深和焦长 引言 电镜的发展历史 1924年，德布罗意计算出电子波的波长 1926年，布施发现轴对称非均匀磁场能使电子波聚焦 1932～1933年间，德国的劳尔和鲁斯卡等研制成功世界上第一台电子显微镜 1939年，德国的西门子公司生产出分辨本领优于10nm的商品电子显微镜 7.1 电子波与电磁透镜 光学显微镜的局限性 电子波的波长 电磁透镜 光学显微镜的局限性 一个世纪以来，人们一直用光学显微镜来揭示金属材料的显微组织，借以弄清楚组织、成分、性能的内在联系。但光学显微镜的分辨本领有限，对诸如合金中的G.P 区（几十埃）无能为力。 最小分辨距离计算公式 其中 ——最小分辨距离 ——波长 ——透镜周围的折射率 ——透镜对物点张角的一半， 称为数值孔径，用 N.A 表示 由于光的衍射，使得由物平面内的点O1 、 O2 在象平面形成B1 、 B2圆斑（Airy斑）。若O1 、 O2靠的太近，过分重叠，图象就模糊不清。 对于光学显微镜，N.A的值均小于1，油浸透镜也只有1.5—1.6，而可见光的波长有限，因此，光学显微镜的分辨本领不能再次提高。 提高透镜的分辨本领：增大数值孔径是困难的和有限的，唯有寻找比可见光波长更短的光线才能解决这个问题。 电子的波长 电子波长与加速电压的关系（经相对论修正） 1. 电子可以凭借轴对称的非均匀电场、磁场的力，使其会聚或发散，从而达到成象的目的。 由静电场制成的透镜—— 静电透镜 由磁场制成的透镜 —— 磁透镜 2. 磁透镜和静电透镜相比有如下的优点 球 差 球差是由于电子透镜的中心区域和边沿区域对电子的会聚能力不同而造成的。远轴的电子通过透镜折射得比近轴电子要厉害的多，以致两者不交在一点上，结果在象平面成了一个漫散圆斑，半径为Rs 还原到物平面，则△rs=Rs/M △rs表示球差大小的量，物平面上两点距离小于2 △rs 时，该透镜不能分辨，M:为透镜的放大倍数。 △rs =1/4Csα3 Cs为球差系数。 α为孔径角，透镜分辨本领随α增大而迅速变坏。 引起电子束能量变化的主要有两个原因： 一是电子的加速电压不稳定； 二是电子束照射到试样时，和试样相互作用，一部分电子发生非弹性散射，致使电子的能量发生变化。 使用薄试样和小孔径光阑将散射角大的非弹性散射电子挡掉，将有助于减小色散。 理论分辨距离 光学显微镜的分辨本领基本上决定于象差和衍射，而象差基本上可以消除到忽略不计的程度，因此，分辨本领主要取决于衍射。 电子透镜中，不能用大的孔径角，若这样做，球差和象差就会很大，但可通过减小孔径角的方法来减小象差，提高分辨本领，但不能过小。 1.3 电磁透镜的景深和焦长 电磁透镜分辨本领大，景深大，焦长长。 场深是指在保持象清晰的前提下，试样在物平面上下沿镜轴可移动的距离，或者说试样超越物平面所允许的厚度。 焦深是指在保持象清晰的前提下，象平面沿镜轴可移动的距离，或者说观察屏或照相底版沿镜轴所允许的移动距离。 电子透镜所以有这种特点，是由于所用的孔径角非常小的缘故。这种特点在电子显微镜的应用和结构设计上具有重大意义。 能量为E的 电子轨迹 象1 透镜 物 P 光轴 图1-5（c） 色差 能量为E- E的 电子轨迹 象2 在电子透镜中，球差对分辨本领的影响最为重要，因为没有一种简便的方法使其矫正，而其它象差，可以通过一些方法消除 PAY ATTENTION 显微镜的分辨极限是 电镜情况下， ， 因此 可见，光阑尺寸过小，会使分辨本领变坏，这就是说，光阑的最佳尺寸应该是球差和衍射两者所限定的值 相对应的最佳光阑直径 式中的f 为透镜的焦距。将 代入前面可得 目前，通用的较精确的理论分辨公式和最佳孔径角公式为 将各类电镜缺陷的影响减至最小，电子透镜的分辨本领比光学透镜提高了一千倍左右。 * * O1 O2 d L B2 B1 Md 强度 D 图（a）点O1 、 O2 形成两个Airy斑；图（b）是强度分布。 （a） （b） 图（c）两个Airy斑 明显可分辨出。 图（d）两个Airy斑 刚好可分辨出。 图（e）两个Airy斑 分辨不出。 I 0.