纳米表面相互作用及振动测头模型陈丽娟陈晓怀刘芳芳-物理学报.PDFVIP

纳米表面相互作用及振动测头模型 陈丽娟 陈晓怀 刘芳芳 王景凡 Nanosurfaceinteractionandmodelofvibratingprobe ChenLi-Juan ChenXiao-Huai LiuFang-Fang WangJing-Fan 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,080603(2016) DOI: 10.7498/aps.65.080603 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.65.080603 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2016/V65/I8 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyoumaybeinterestedin 基于相关光子多模式相关性的InSb模拟探测器定标方法 AbsolutecalibrationofananalogInSbdetectorbasedonmultimodespatialcorrelationofcorrelatedpho- tons 物理学报.2015,64(24): 240601 /10.7498/aps.64.240601 基于X射线掠射法的纳米薄膜厚度计量与量值溯源研究 Nanometerfilmthicknessmetrologyandtraceabilitybased on grazing incidence X-ray reflectometry 物理学报.2014,63(6): 060601 /10.7498/aps.63.060601 机器视觉在激光干涉测量d 中的应用 Applicationofmachinevisiontothemeasurementofthe effectived coefficientinlaserinterferometry 物理学报.2013,62(18): 184207 /10.7498/aps.62.184207 一种内腔式He-Ne激光器频率稳定方法的实验研究 Experimentalstudyonfrequencystabilizationmethodof internal-mirror He-Ne laser 物理学报.2013,62(1): 010601 /10.7498/aps.62.010601 大幅提高视觉密度国家基准测量水平的方法研究 Greatlyenhancedvisualdensitymeasurementlevelofthe national standard densitometer 物理学报.2012,61(23): 230601 /10.7498/aps.61.230601 物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 65, No. 8 (2016) 080603 纳米表面相互作用及振动测头模型 刘芳芳 王景凡 陈丽娟 陈晓怀 (合肥工业大学仪器科学与光电工程学院, 合肥 230009) ( 2015 年12 月31 日收到; 2016 年1 月15 日收到修改稿) 如何实现高精度的测量是现代制造业及微电子技术领域的热点问题之一. 基于微纳米测头的三坐标测量 机是当前实现高精度测量的重要手段. 随着测量尺寸的减小, 常用的纳米/微纳尺度的测头与待测表面之间形 成静态接触, 其表面相互作用成为了影响其测量精度和可靠性的关键因素之一. 本文基于一种触发式振动测 头, 研究了其动力学模型, 并通过对测头纳米尺度表面相互作用的理论分析及数值模拟, 确立了测头振动参数 与表面相互作用之间的关联. 实验研究表明, 参数优化后的谐振微纳测头能有效抑制表面作用带来的干扰, 提高测量精度. 关键词: 纳米表面作用力, 简谐振动, 接触式测量, 三维振动测头 PACS: 06.30.–k, 42.62.Eh, 06.20.–f, 03.65.Ta DOI: 10.7498/aps.65.080603 应、表面效应等新问题, 且表现出了宏观尺度接触 1 引 言