双辉低温_560_等离子渗铬的工艺研究.pdf

双辉低温( )等离子渗铬的工艺研究 郑 英等 560℃ / 137 双辉低温(560℃)等离子渗铬的工艺研究* , 12 1 郑 英 ,高 原 ( 桂林电子科技大学信息材料科学与工程系,桂林 ; 湖南交通职业技术学院,长沙 ) 1 5410042 410004 摘要 采用离子氮化 双辉等离子渗铬的复合工艺(首先对 钢进行 离子氮化,再进行 双辉 + T10 550℃×8h 560℃ 等离子渗铬,渗铬完成后试样随炉冷却),研究了源极电压、阴极电压、极间距、工作气压、预氮化保温时间、渗铬保温时 间等工艺参数对双辉等离子渗铬的影响,得出了本工艺条件下的最佳工艺参数。结果表明,在 预氮化极间距 8h 50～ 60mm,阴极电压-275～-325V、源极电压-750～-850V、渗铬气压 25～35Pa的工艺条件下,渗层厚度约30μm,沉积层 铬浓度达 以上,扩散层铬浓度呈梯度分布;渗层由沉积层 扩散层组成,沉积层组织致密,与基体结合紧密,扩散 55% + 层晶粒细小,碳化物弥散,不改变试样原始的基体组织;经 射线衍射分析,表层物相由 、 、 、 等组 X Fe-CrCrNCrC CrC 7 3 23 6 成,表面硬度达 1000～1250HV,且呈梯度分布。 关键词 碳素工具钢 低温 双辉等离子渗铬 StudyonProcessofDoubleGlowPlasmaChromizingat560℃ , 12 1 , ZHENGYing GAOYuan ( , , 1 DepartmentofInformationMaterialScienceandEngineeringGuilinUniversityofElectronicTechnology ; , ) Guilin5410042 HunanCollegeofRtafficVocationandTechnologyChangsha410004