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國立彰化師範大學機電工程學系電漿應用實驗室 National Changhua University of Education Plasma Application Lab 掃瞄式電子顯微鏡 Scanning Electron Microscope SEM操作說明書 中 華 民 國 九 十 二 年 七 月 二 十 三 日 National Changhua University of Education Plasma Application Lab 目 錄 1、操作驟步各項說明…………………………………………………… 2 2、SEM操作作業系統各項功能解釋………………………………… 3 3、手動操作按鈕………………………………………………………… 4 4、操作鍵盤……………………………………………………………… 5 5、試片觀察範圍………………………………………………………… 8 6、SEM試片準備………………………………………………………… 9 7、鍍金機操作步驟……………………………………………………… 9 8、開機步驟……………………………………………………………… 10 9、關機步驟……………………………………………………………… 11 10、電子顯微鏡操作注意事項…………………………………………… 11 I 國立彰化師範大學機電工程學系電漿應用實驗室 NCUE Department of Mechatronics Engineering plasma Applacation Lab. 電子顯微鏡擺設示意圖 國立彰化師範大學機電工程學系電漿應用實驗室 NCUE Department of Mechatronics Engineering plasma Applacation Lab. 1、操作驟步各項說明 刻度 Aperture(直徑μm) 使用目的 3 100 當需要大電流例如使用WDS分析時使用 2 30 一般觀察使用 1 20 高解析觀察使用 0 None 維護工作使用 國立彰化師範大學機電工程學系電漿應用實驗室 NCUE Department of Mechatronics Engineering plasma Applacation Lab. 2、SEM操作作業系統各項功能解釋 開啟高壓觀察影像用 確定試片細微結構 自動調整像差 影像上下邊緣的焦距調整 確認照相條件 自動調整對比與亮度 電子束旋轉 擷取目前影像 建立報告時使用 欲觀察整個試片 降低倍率 紀錄觀察條件時使用 調整影像品質 增加倍率 交換試片時使用 選擇觀察區域 自動調整焦距 調整電子束 國立彰化師範大學機電工程學系電漿應用實驗室 NCUE Department of Mechatronics Engineering plasma Applacation Lab. File Edit Open Image File 開啟影像檔. Save Image File 儲存影像. Report DTP 程式(桌面排版) 視窗開啟 Backup Users File 備分使用者檔案. Install Users File 安裝使用者檔案. Exit Scanning Electron Microscope Text Editor文字編輯 Image Clip將影像貼在剪貼簿上 Image Copy複製已擷取影像 Image Paste已複製的擷取影像貼到GUI或DTP Tools Image Scan Rotation Dynamic Focus Correction 動態對焦. Beam Blanking 電子數遮罩. OL Wobbler OL 調整. Lens Reset 集束鏡與物鏡重設. Stigma Reset 像差值重設. Neutralizer 輸入訊號品質改變(影像亮度). (SEI 有效) Look-Up Table/Color Dual Images Quad Images Digital Zoom Dual M