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ITO薄膜的生产技术概况及发展趋势 王建强 ITO俗称氧化铟锡，是一种具有良好导电性能的金属化合物，可利用磁控溅射等方法把ITO膜镀在各类基板材料（基板材料包括钠钙玻璃、硼硅玻璃、PET塑料等）上用作导电的电极，广泛应用于LCD、OLED、PDP、触摸屏等各类平板显示器件，因此，ITO导电膜具有较长的产品寿命，并不会因为平板显示技术的不断更新和升级而淘汰，反而为ITO导电膜创造出更多的市场空间。 真正进行透明导电薄膜材料的研究工作还是19世纪末，当时是在光电导的材料上获得很薄的金属薄膜。经历一段很长时间后的第二次世界大战期间，关于透明导电材料的研究才进入一个新的时期，于是开发了由宽禁带的n型简并半导体SnO2材料，主要应用于飞机的除冰窗户玻璃。 1954年，G.Rupprecht首次发现了一种掺杂的In2O3透明导电膜；1968年，Philips公司发现了电阻率为2×10-4 Ω·cm的ITO导电膜，此时的ITO导电玻璃还处于研究的萌芽状态。20世纪70年代，ITO导电玻璃开始应用于液晶显示（LCD）行业，实现了产业化生产，ITO导电玻璃进入快速增长的阶段。20世纪80年代，ITO导电玻璃主要应用于电子表、计算器等TN-LCD；20世纪90年代，ITO导电玻璃开始应用于STN-LCD，包括手机、笔记本电脑、PDP。进入21世纪以来，随着彩屏手机的兴起，ITO导电玻璃除应用于TN-LCD、STN-LCD以外，开始应用于CSTN-LCD、OLED等诸多类别的产品领域。 1.3ITO应用 太阳能电池、显示器、气敏元件、抗静电涂层、半导体/绝缘体/半导体(SIS)异质结、现代战机和巡航导弹的窗口等. 由于ITO薄膜材料所具有的优异光电特性,其应用得到迅速发展,特别是在薄膜晶体管(TFT)制造、平板液晶显示(LCD) 、等离子显示器(PDP) 、电致发光显示器(EL/OLED) 、触摸屏(Touch Panel) 、太阳能电池透明电极、红外辐射反射镜涂层、火车飞机用玻璃除霜、建筑物幕墙玻璃等方面. ＩＴＯ导电机理 ＩＴＯ　即Indium Tin Oxide 掺锡氧化铟.是一种重掺杂、高简并n型半导体. In2O3里掺入Sn后,Sn元素可以代替In2O3晶格中的In元素而以SnO2的形式存在,因为In2O3中的In元素是三价,形成SnO2时将贡献一个电子到导带上,同时在一定的缺氧状态下产生氧空穴,形成载流子浓度和迁移率.这个机理提供了在10-4 Ω·cm数量级的低薄膜电阻率,所以ITO薄膜具有半导体的导电性能. 1透明导电膜的基础特性 1-1透明导电膜的种类 1)金属薄膜Au,Ag,Cu 约100埃 当膜厚小于 20nm 时，金属的吸收率和反射率降低同时透射率提高，因此金属薄膜也可以当作透明导电膜使用，此时的膜厚应控制在 5～15nm 之间。 低电阻，低透过率. 2)半导体氧化物 ITO,In2O3,SnO2,ZnO 高电阻(与金属膜相比较),高透过率 1-2透明导电膜的用途 1)FPD用的透明电极 LCD(TN,STN,TFT,CF),OLED,PDP,FED 2)Touch panel 3)太阳电池 4)AR,屏蔽 1.2 ITO薄膜性能 1.低电阻率(7*10-5Ω) 2.高可见光透射率(90%) 3.红外高反射比 4.良好的化学稳定性 5.高的机械强度 6.玻璃基体结合牢固、抗擦伤 ITO在STN中的应用 ITO在STN中的应用 偏光片 彩色滤光片 定向层 液晶