第7章探针显微技术spm.ppt

第7章　扫描探针显微技术（SPM） 7.1 概述 显微技术是人们认识材料微观结构的重要途径，其发展历程是从光学显微镜——电子显微镜——扫描探针技术。 一般的光学显微镜的分辨率250nm, 扫描电子显微镜（横向分辨率3－5nm），不能用来直接观察分子和原子。 扫描探针技术（STM横向0.1－0.2 nm，纵向0.01nm）,可以直接观察分子、原子。 扫描探针技术（SPM）实际上一类显微术的总称，都是在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的， 其中最常用的有扫描隧道显微镜（STM）和原子力显微镜（AFM），这两种方法互为补充。 STM要求被测样品必须是导体或半导体，虽然不导电的样品可以通过镀金膜或碳膜在其表面形成一层导电膜，但膜的粒度和均匀性直接影响对真实表面的分辨率造成失真。 AFM可用于非导体，但要求样品的粘度不能太大，否则将直接影响分辨率。 SPM技术的特点： （1）具有原子级的分辨率（横向0.1－0.2nm，纵向0.01nm）； （2）可以观察单个原子层的局部表面结构； （3）可以得到表面电子结构的有关信息； （4）可以实时、实空间地观察表面的三维图像，可以观测到表面的原子的扩散、迁移等过程。 （5）可以在不同条件下，如真空、大气、常温、低温、高温、溶液等条件下工作，不需要特别备制样品，对样品无损伤，能在缓冲溶液中直接观察生物样品的表面结构，能在高温环境下工作。 （6）除了用于成像、显微观测，还可以对表面的原子、吸附的原子或分子进行移动，从而进行表面纳米级加工 7.2 扫描隧道显微镜7.2.1隧道效应 金属中的自由电子具有波动性，当电子波（ψ）向表面传播遇到边界时，一部分被反射（ψR），而另一部分则可透过边界（ψT），从而在其表面形成电子云，电子云的密度随距表面的距离成指数衰减。当两金属靠得很近时，表面的电子云可以相互渗透，即金属1的透射波ψT1与金属2的透射波ψT2相互重叠，在两金属间形成电流，这一现象被称为隧道效应，由此产生的电流为隧道电流。隧道效应是粒子波动性体现，是一种典型的量子效应。此时，如果在两金属或半导体上施加电压，则电子定向流动，形成隧道电流。 7.2.2 STM的工作原理 STM的工作原理就是利用了电子隧道效应，用一个曲率半径R为原子尺寸的针尖在样品表面扫描，当针尖与样品表面非常接近时，由于隧道效应可在针尖与样品表面之间形成隧道电流: I∝ρs(0,EF)exp(-2kZ) 式中，ρs(0,EF)为样品表面费米能级EF处的局域态密度，Z为针尖与样品的距离，k为衰减系数，K取决于针尖和样品的平均功函数以及针尖与样品间的电压。当Z增加0.1nm时，I减小10倍，可见隧道电流I对样品表面的起伏是非常敏感的（纵向分辨率可达0.01nm），当R和Z都小到原子尺度时，就可以得到样品表面原子排列和原子形态的清晰的图象。 STM有两种工作模式：恒流模式和恒压模式。 恒流：保持隧道电流I不变，使针尖上下移动而改变高度Z。 恒高：保持高度Z，使隧道电流I改变。 针尖沿着x/y方向扫描，就可以得到表面三维的数据，从而得到表面原子的分布，通过计算机的数据采集系统，转化成图象直接显示出来，也可以将数据转化成三维图象。二维图象，用景深表示z方向的信息，三维图象更直接地表示。 7.2.3 STM 仪器 1 针尖 针尖的曲率曲径约为0.1μm，可以得到原子级分辨率的图像，在进入隧道电流状态后针尖尖端处往往能够形成单原子尖，针尖的制备是STM中的关键问题，常用机械加工铂铱合金针尖，或用化学腐蚀的方法制取钨的针尖。化学腐蚀，加直流电压，在2mol/l NaOH 溶液中腐蚀。 2 三维扫描和控制器件 STM横向分辨率为0.1～0.2nm，xy方向的扫描范围一般在几－几百nm，与其深度分辨率0.01nm相适应，通常用压电陶瓷管的三维控制器件。同时，为了避免外界震动对扫描的影响，应加减震的阻尼系统。 3 数据采集处理（微机） STM的主要技术指标是分辨率，常用高定向石墨HOPG作为检测标样，如能测得表面的原子排列图像，即STM仪器处于正常的工作状态，HOPG中有三种原子：A处两层原子重叠，B处只有上层而无下层，C处只有下层而无上层。 7.2.4 STM图像解释 STM图像反映的是样品表面的局限电子结构及空间变化，而与表面原了位置无直接关系，不能将观测到的表面高低起伏简单地归结为原子的排列结构。 STM的图像并不直接反映表面原子核的位置，STM图像反映的是样品表面波函数的起伏，当Vb偏压改变时，探测到的是不同的表面波函数。 在测量Si(001)表面时，当偏压Vb为负时，是样品占据态的电子流向针尖（针尖带正电时）反映的是Si=Si二聚原子的最高占据轨道π的空间分布， 而Vb为正时（针尖带负电）则是电子从针尖流向样品的未占据态，反映的是最低未