第一讲：半导体基础知识半导体制造技术.ppt

课程意义 半导体器件在人们生活中的重要作用 信息领域：计算机及网络设备（CPU、Memory、Chips）通信（移动电话） 能源领域：电源、机车、电机、马达、电力输送、节能、环保、自动化 军事领域：尖端智能武器、光探测器、测距 消费类：随身听、音频数字信号处理、光笔、电子表、汽车电子（电动车门、电喷、照明）、空调、彩电 §1.1 半导体材料 半导体(semiconductor)，顾名思义就是指导电性介于导体与绝缘体的物质 电阻率介于10e-3～10e6Ω.cm，可变化区间大，介于金属（10e-6Ω.cm）和绝缘体（10e12Ω.cm）之间 纯净半导体负温度系数，掺杂半导体在一定温度区域出现正温度系数 不同掺杂类型的半导体做成pn结后，或是金属与半导体接触后，电流与电压呈非线性关系，可以有整流效应 具有光敏性，用适当波长的光照射后，材料的电阻率会变化，即产生所谓光电导 半导体中存在着电子与空穴两种载流子 §1.1 半导体材料 元素半导体与化合物半导体 §1.1 半导体材料 构成半导体材料的主要元素及其在周期表中的位置 §1.2 固体类型 固体：处于凝固状态下的物体，通常具有一定的形状和体积。按其内部原子的排列情况可分为以下三种主要的结构类型，即单晶、多晶和非晶。固体材料的三种主要结构类型及其特征：（1）单晶：长程有序（整体有序，宏观尺度，通常包含整块晶体材料，一般在毫米量级以上）；（2）多晶：长程无序，短程有序（团体有序，成百上千个原子的尺度，每个晶粒的尺寸通常是在微米的量级）；（3）非晶（无定形）：基本无序（局部、个体有序，仅限于微观尺度，通常包含几个原子或分子的尺度，即纳米量级，一般只有十几埃至几十埃的范围） §1.2 固体类型 单晶：长程有序（整体有序，宏观尺度，通常包含整块晶体材料，一般在毫米量级以上）； 多晶：长程无序，短程有序（团体有序，成百上千个原子的尺度，每个晶粒的尺寸通常是在微米的量级）； 非晶（无定形）：基本无序（局部、个体有序，仅限于微观尺度，通常包含几个原子或分子的尺度，即纳米量级，一般只有十几埃至几十埃的范围） §1－2 晶体的微观结构 周期性－－又称平移对称性，晶体的根本特征（主要矛盾）。 空间点阵（布拉菲格子） 基元－－组成晶体的最小结构单元。 把基元抽象成为一点，则晶体抽象成为空间点阵。 晶体结构＝基元＋空间点阵 说 明 1、基元中A、B可以是不同的原子，或相同的原子，但周围“ 环境”不同。 2、每个基元用一个格点来表示。此格点选在基元的什么地方、代表几个原子并未限制。 3、每个基元内所含的原子数＝晶体中原子的种类数。 4、布拉菲格子（B格子）的基本特征：各格点的情况（基元内涵和周围“ 环境”）完全相同。 5、晶体结构的一种描述：带基元的B格子。 另一种描述： 单式格子：晶体由一种原子组成。一个基元仅有一个原子，即一个原子由一个格点表示。 复式格子：晶体由几种原子组成，但各种原子在晶体中的排列方式都是相同的（均为B格子的排列），可以说每一种原子都形成一套布拉菲子格子，整个晶体可以看成是若干排列完全相同的子格子套构而成。 §1.3 晶体的空间点阵结构 晶格的周期性通常用原胞和基矢来描。 原胞：一个晶格最小的周期性单元 相同点 用来描述晶体中晶格周期性的最小重复单元 不同点： 固体物理学：原胞只强调晶格的周期性，其最小重复单元为原胞 结晶学：晶胞还要强调晶格中原子分布的的对称性。 §1.3 晶体的空间点阵结构 基矢：晶胞的三个相互独立的边矢量。 如：简立方晶格的立方单元就是最小的周期性单元，通常就选取它为原胞，晶格基矢沿三个立方边，长短相等： §1.3 晶体的空间点阵结构 立方晶系基本的晶体结构：常见的三个基本的立方结构及其晶格常数，分别是简单立方、体心立方和面心立方，立方体的边长即为晶格常数。（1）简单立方结构（SC）（2）体心立方结构（BCC）（3）面心立方结构（FCC） §1.3 晶体的空间点阵结构 简单立方结构 Simple Cubic §1.3 晶体的空间点阵结构 体心立方结构Body-Centered-Cubic §1.3 晶体的空间点阵结构 面心立方结构 Face-Centered-Cubic §1.3 晶体的空间点阵结构 晶向指数 晶体的一个基本特点是具有方向性，沿晶体的不同方面晶体的性质不同。 晶格的格点，可以看成分列在一系列相互平行的直线系上，这些直线系称为晶列。 ◆同一个格子可以形成方向不同的晶列 ◆每一个晶列定义了一个方向，该方向称为晶向 ◆晶向用晶向指数标记 §1.3 晶体的空间点阵结构 ◆晶向指数的确定：如果沿着某一晶向，从一个原子到最近的原子的