镜面散射对显微物镜杂散光特性影响的仿真研究.PDFVIP

激光与光电子学进展 52, 101104(2015) Laser Optoelectronics Progress ©2015《中国激光》杂志社 镜面散射对显微物镜杂散光特性影响的仿真研究 1,2,3 2 1 胡慧杰 巩 岩 武晓东 1 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所江苏省医用光学重点实验室,江苏 苏州 215163 2 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林 长春 130033 3 中国科学院大学,北京 100049 摘要 杂散光是影响显微系统成像质量的重要因素之一，在光学镜面加工及光学镜面清洁过程中会带来不同程度的 镜面散射，这部分镜面散射所带来的杂散光影响不可忽视。以放大倍率为20×，数值孔径为0.49的显微物镜为基础， 利用TracePro光学分析软件，建立了黑斑法测量显微物镜杂散光系数的仿真模型，对照明数值孔径、照明视场以及 黑斑位置三个影响杂散光测量条件的因素进行仿真探究，验证了模型的可行性。在此基础上，研究了表面粗糙度(2、 5、10、20nm)和表面颗粒污染水平(230、500、750)对不同NA显微物镜杂散光的影响。仿真结果表明，表面粗糙度大 于10nm或表面洁净度大于500均会严重影响显微物镜像面杂散光的分布，降低显微物镜的成像质量，尤其对大NA 显微物镜影响更为明显。因此，为控制镜面散射对显微系统性能的影响，应提高镜面加工工艺并保持镜面清洁。 关键词 成像系统;杂散光;仿真测量;表面粗糙度;颗粒污染水平 中图分类号 O436 文献标识码 A doi:10.3788/LOP52.101104 SimulationaboutInfluenceofSpecularScatteringonMicroscope ObjectiveStrayLightCharacteristics 1,2,3 2 1 HuHuijie GongYan WuXiaodong 1JiangsuProvincialKeyLaboratoryofMedicalOptics,SuzhouInstituteofBiomedicalEngineeringandTechnology, ChineseAcademyofSciences,Suzhou,Jiangsu 215163,China 2StateKeyLaboratoryofAppliedOptics,ChangchunInstituteofOptics,FineMechanicsandPhysics,Chinese AcademyofSciences,Changchun,Jilin 130033,China 3UniversityofChineseAcademyofSciences,Beijing 100049,China Abstract Straylightisoneoftheimportantfactorsaffectingtheimagequalityofmicroscopysystems.Duringthe processingofopticalelements,straylightcausedbyspecularscatteringcannotbeignored.Takingmicroscope objectiveswith20×magnificationandNA=0.49asatypicalexampleandusingtheo