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[管理学]5 静电放电

静 电 放 电 北京大学微电子学系 Department of microelectronics Peking University 内容提纲 静电放电(ESD) • 简介 • ESD测试模式 • ESD保护结构 • ESD器件建模、SD模拟 • ESD失效机制 • ESD版图设计 简 介 最常见的静电放电现象 人体能够感觉到的静电放电电压需要达到~3500 V 简 介 静电电荷的来源 相对湿度 相对湿度 来源 25% 65%~90% 地毯上行走 35000 V 1500 V 乙烯基瓷砖上行走 12000V 250 V 长凳上的工人 6000 V 100 V 从长凳上拿起 20000 V 1200 V 聚乙烯包 聚氨脂泡沫的椅子 18000 V 1500 V V =Q/C, 电容越小,即使小电荷量也可以导致高电压 ESD放电危险存在于任何地方 简 介 电荷产生过程 两种不同材料存在物理接触 接触过程中,由于不同材料 之间存在功函数差,则出现 自由电子的转移 产生的电荷量依赖于接触面 积、压力和摩擦力 如地毯上行走、干燥空气中 摩擦生电过程 开车等 简 介 电荷产生过程 B物体接近带电A物体,A 的 部分部分电场中止于B,导 致内部电荷分离 当A离开后,B中存在着与A 相反极性的净电荷 如计算机监视器附件IC芯片 处理过程 感应带电过程

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