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[管理学]5 静电放电
静 电 放 电
北京大学微电子学系
Department of microelectronics Peking University
内容提纲
静电放电(ESD)
• 简介
• ESD测试模式
• ESD保护结构
• ESD器件建模、SD模拟
• ESD失效机制
• ESD版图设计
简 介
最常见的静电放电现象
人体能够感觉到的静电放电电压需要达到~3500 V
简 介
静电电荷的来源
相对湿度 相对湿度
来源
25% 65%~90%
地毯上行走 35000 V 1500 V
乙烯基瓷砖上行走 12000V 250 V
长凳上的工人 6000 V 100 V
从长凳上拿起
20000 V 1200 V
聚乙烯包
聚氨脂泡沫的椅子 18000 V 1500 V
V =Q/C, 电容越小,即使小电荷量也可以导致高电压
ESD放电危险存在于任何地方
简 介
电荷产生过程
两种不同材料存在物理接触
接触过程中,由于不同材料
之间存在功函数差,则出现
自由电子的转移
产生的电荷量依赖于接触面
积、压力和摩擦力
如地毯上行走、干燥空气中
摩擦生电过程 开车等
简 介
电荷产生过程
B物体接近带电A物体,A 的
部分部分电场中止于B,导
致内部电荷分离
当A离开后,B中存在着与A
相反极性的净电荷
如计算机监视器附件IC芯片
处理过程
感应带电过程
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