第八章探针显微镜.pptVIP

内容提要 扫描探针显微镜的原理与特点 扫描隧道显微镜 原子力显微镜 扫描探针显微镜的应用 我校SPM简介 扫描探针显微镜 是研究纳米材料的重要工具，能够准确地观测样品表面纳米尺度的三维形貌，它利用探针和样品的不同相互作用来探测表面或界面在纳米尺度上表现出的物理和化学性质，同时可对样品表面物理化学特性进行研究，如表面电势、磁场力、静电力、摩擦力和其他表面力的测量，同时可以对样品表面进行纳米尺度的刻蚀和加工。它的问世对表面科学、物理学、微电子学、电子材料学、先进材料和纳米材料等研究领域技术重要的意义。 扫描探针显微镜（scanning probe microscope，SPM）可以在同一套系统上实现原子力显微技术（AFM）、扫描隧道显微技术（STM）、纳米刻蚀和纳米操纵（Nano Lithograph）等多种功能。 扫描探针显微镜 Scanning Probe Microscope，SPM 扫描隧道显微镜 Scanning Tunneling Microscope, STM 原子力显微镜 Atomic Force Microscope, AFM 相位检测显微镜 (PDM) 激光力显微镜（LFM） 磁力显微镜（MFM） 静电力显微镜以及扫描热显微镜等 SPM (scanning probe microscope) 发展史 1982年解决了维持狭缝稳定的技术；高分辨定位和扫描技术；针尖与样品距离控制技术。 1982年IBM公司G. Binning和H. Rohrer发明了扫描隧道显微镜 (STM)， 1986年获诺贝尔物理奖。STM使人类第一次跨入原子世界，直接观察物质表面的单个原子。人们第一次能够实时地观察到原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物理化学性质，对表面科学、材料科学、生命科学和微电子技术的研究有着重大的意义和广阔的应用背景，被科学界公认是表面科学和表面现象分析的一次革命。 1986年G. Binning等人在STM的基础上发明原子力显微镜（AFM） 随后又相继发明了 力调制显微镜 (FMM) 相位检测显微镜 (PDM) 静电子显微镜 (EFM) 电容扫描显微镜 (SCM) 热扫描显微镜 (SThM) 近场光隧道扫描显微镜 (SNOM) 等等 重要意义：SPM可操纵单原子、单分子技术，能使人类从目前的微米尺度对材料的加工跨入到纳米尺度、原子尺度，完成单分子、单原子、单电子器件的制作，也可移动原子，构造纳米结构。 扫描探针显微镜原理 控制探针在被检测样品的表面进行扫描，同时记录下扫描过程中探针尖端和样品表面的相互作用，就能得到样品表面的相关信息。 显然，利用这种方法得到被测样品表面信息的分辨率取决于控制扫描的定位精度和探针作用尖端的大小（即探针的尖锐度）。 扫描隧道显微镜（STM） 扫描隧道显微镜（STM）原理 隧道效应 根据量子力学理论的计算和科学实验的证明，当具有电位势差的两个导体之间的距离小到一定程度时，电子将存在一定的几率穿透两导体之间的势垒从一端向另一端跃迁。 这种电子跃迁的现象在量子力学中被称为隧道效应，而跃迁形成的电流叫做隧道电流。 之所以称为隧道，是指好象在导体之间的势垒中开了个电流隧道一样。 隧道电流有一种特殊的性质，既对两导体之间的距离非常敏感，如果把距离减少0.1纳米，隧道电流就会增大一个数量级。 扫描隧道显微镜的基本工作原理 扫描隧道显微镜的基本工作原理是利用探针与样品在近距离（0.1 nm）时，由于二者存在电位差而产生隧道电流，隧道电流对距离非常敏感； 当控制压电陶瓷使探针在样品表面扫描时，由于样品表面高低不平而使针尖与样品之间的距离发生变化，而距离的变化引起了隧道电流的变化； 控制和记录隧道电流的变化，并把信号送入计算机进行处理，就可以得到样品表面高分辨率的形貌图像。 STM原理结构图 STM的特点 可以在环境气氛下进行如：大气，真空，溶液，反应性气氛等； 可以从低温到高温进行分析； 可以获得原子级别的空间分辨率； 原子操纵工具，组装纳米结构。 典型STM像 STM要求扫描的范围从10 nm 到1微米以上，可以用来观察原子水平的样品形貌。 下图为量子点的表面形