第10章 半导体式化学传感器.pptVIP

晶体吸湿潮解产生离子(离子导电)，湿度增加时离子增多（水分子的氢原子具有很强的正电场），导电率上升，电阻率下降 。 当溶液置于一定湿度场中，若环境RH上升，溶液吸收水分子使离子浓度上升电阻率下降； 反之，RH下降，溶液浓度下降电阻率上升。 %RH↑吸湿——浓度↑ R ↓ %RH↓脱湿——浓度↓ R ↑ 通过测量溶液电阻R值实现对 湿度测量。检测精度达±5%。 氯化锂湿敏电阻特性 10.2.３ 半导体陶瓷湿敏电阻 半导体陶瓷湿敏电阻——又称半导瓷 用两种以上的金属—氧化物—半导体烧结成多孔陶瓷； 多孔陶瓷表面吸收水分的情况可以分为三个阶段： 第一阶段，陶瓷在低湿区域或刚接触水汽； 第二阶段，进一步吸收水分子或中等湿度环境； 第三阶段，大量水汽存在使晶粒界充满水分子。 典型半导体陶瓷湿敏传感器 负特性湿敏半导体瓷湿敏电阻，电阻随湿度增加而下降。由于水分子中氢原子具有很强的正电场，当水分子在半导体瓷表面吸附时可能从半导体瓷表面俘获电子，使半导体表面带负电，相当表面电势变负，电阻率随湿度增加而下降。 正湿敏特性半导体瓷湿敏电阻 （例：Fe3O4），材料结构、电子能量状态与负特性不同，总的电阻值升高没有负特性阻值下降的明显。 半导瓷材料有正湿度系数和负湿度系数两种： 湿度上升RH下降VT3截止，VT4导通，J2接通干燥设备，LED2点亮； 同时VT2截止，VT1截止，J1失去电流释放，关闭增湿设备； 湿度下降RH上升VT3导通，VT4截止，J2释放。 湿度控制电路 湿度传感器应用 10.３ 离子敏传感器 水质检测仪器 笔 式 酸 度 计 纯水测试仪 便携式盐度计 便携式浊度测定仪 酸 度 计 溶液中离子浓度是指含离子的多少，单位：mol(摩尔）/ L（升） 。 氢离子浓度对化学生物反映起着支配作用，为判断水中氢离子浓度（活度）用一个特殊的量值“PH值”来表示。 测量溶液（体液）中离子浓度器件，是一种对离子具有选择敏感作用的场效应晶体管。 PH 计 10.３.１ 离子敏传感器结构工作原理 离子敏传感器由离子选择电极（ISE）-氧化物-半导体（MOSFET）组成， 简称ISFET-离子场效应晶体管。 与普通MOSFET管结构不同之处是没有金属栅极； 在绝缘栅极上制作一层敏感膜，测量时将绝缘栅膜直接与被测溶液接触。 离子传感器是通过测定溶液与电极的界面电位来检测溶液中离子浓度。 将普通MOSFET的金属栅去掉，让绝缘氧化层直接与溶液相接触，栅极用铂金属膜作引线，在铂膜上涂一层离子敏感膜，构成离子敏场效应管- ISFET。 　 敏感膜种类很多，不同敏感膜检测离子种类不同，具有离子选择性； 如：Si3N4—氮，SiO2、Al2O3（无机膜）， 可测H+（氢）、PH。 SiO2层与栅极间无金属电极，而是待测溶液，溶液与参比电极同时接触充当栅极构成场效应管，使用方法与普通管没有区别。工作原理与场效应管相似。 * 第10章 半导体式化学传感器 10.1 气敏传感器 10.2 湿敏传感器 10.3 离子敏传感器 主要内容： 概述 凡是用半导体材料制作的传感器都属于半导体传感器。 半导体式传感器种类很多，其中包括：压阻元件、集成温度传感器、磁敏元件、光敏电阻、霍尔元件等。 半导体传感器是典型的物理型传感器，它是利用某些材料的电特征的变化实现被测量的直接转换，如改变半导体内载流子的数目或改变PN结特性。 半导体电特性 被测量 电信号 本章主要介绍半导体型的电化学传感器 优点： 传感器器件采用半导体加工工艺，因而没有相对运动部件，结构简单；半导体材料容易实现集成化、智能化，低功耗，可用于便携式仪器的现场测试； 缺点： 受温度影响，需采用补偿措施； 线性范围窄，性能参数离散性大。 概述 半导体式化学传感器是上世纪70年代后期诞生起来的新型传感器，主要是以半导体作为敏感材料，通过物理特性变化实现信号转换。如：气敏、湿敏、离子敏传感器。 由于化学传感器转换机理复杂，目前半导体式化学传感器远不及电参数式物理量和其它传感器成熟。 气敏元件 湿敏 元件 湿敏传感器 半导体电化学传感器 10.1 气敏传感器 气敏传感器特点 灵敏度较高，达10-6～10-3数量级，无需放大； 可检测到可燃气体爆炸下限的1/10，用于泄漏报警; 响应速度较慢。 气敏传感器用于检测工业现场、环境气体浓度和成份 工业天然气、煤气等易燃易爆的安全监测； 容器或管道泄漏的检漏； 酒后驾车的乙醇浓度检测； 环境中的有害、有毒气体监测； 空气净化、家电用品、宇宙探测； 牙医口臭检查。