加速电压在短磁透镜中像会出现一定角度的偏转.pptVIP

第三编 生 物 电 镜 技 术 第一章 概论 电子显微镜 以电子束作为光源，利用电磁透镜成像，结合特定的机械装置和高真空技术而构成的一种精密的综合性电子光学仪器。其最大优点是分辨率极高，放大倍数可达几十万倍。 电子显微镜最常见的种类为透射电镜TEM和扫描电镜STM。 第一章 概论 电子显微镜的发展简史 1924 德布洛意提出，任何快速运动的粒子，必定伴有电磁辐射。 1926 布施发现，线圈对电子能起到透镜的作用。 1931 Ruska和Knoll制造出第一套电子光学系统，得到了放大的电子光学像。 1933 Ruska建成第一台电子显微镜。 第一章 概论 1938 Rusca研制成功第一台真正实用的电子显微镜。 1938 Ardenne研制出第一台扫描电子显微镜。 1939 西门子生产出第一批商品电子显微镜。 1942 第一台实验室用的扫描电子显微镜问世。 1965 英国剑桥仪器公司生产出第一批商用扫描电镜。 1968 芝加哥大学研制成功场发射枪，并制造成功场发射扫描电镜。 目前，高性能的透射电镜点分辨本领已优于3? ，晶格分辨本领达到1－2 ?；扫描电镜分辨本领可达20－60 ?，场发射型甚至可达5 ?。 第一章 概论 我国电子显微镜发展简史 1958 中科院长春光学研究所研制出我国第一台电镜，分辨本领100 ?。 1959 多家单位合作，研究出XD-100型透射电镜，分辨本领25 ?。 1965 上海电子光学技术研究所制成DXA3-8型，分辨本领7 ?，使我国电镜技术 跃居世界先进水平。 1975 中科院北京科学仪器厂研制成功我国第一台扫描电子显微镜，分辨本领100 ?。 1978 上海新跃仪表厂和江南光学仪器厂试制成功透射扫描型电子显微镜。 第二章 透射电子显微镜 第一节 电子显微镜的分辨本领 1.分辨力：分辨物体细微结构的能力，即判别两个物体间最短距离的本领。 R= 0.612λ /N.A.=0.612 λ / n.sin (u/2) λ为入射光波长； N.A.为镜口率 2.电子波长：由加速电压V决定，在V＝50kV时， λ＝0.0548 ?；在V＝100kV时， λ＝0.0387 ? 。约为光波的10-5 。 第二节 电子透镜 沿一中心轴呈旋转对称的电磁场，可以使从轴上一点发出的电子，重新会聚在中心轴上另一点。该电磁场对电子显示出透镜的作用，称为电子透镜。 电子透镜分为静电透镜和磁透镜，静电透镜像差大、电压高、易击穿，现代电镜中只用于电子枪。 由旋转轴对称磁场构成的磁透镜有三类：长磁透镜、短磁透镜和磁浸没透镜。 电子透镜只有会聚透镜，没有发散透镜。 1、长磁透镜：长螺线管通电流产生均匀磁场，所有磁力线相互平行，对于电子束有会聚作用。但是长磁透镜没有放大作用。 2、短磁透镜 透镜磁场的作用局限于一个小范围内，物和像都在磁场外。对电子束既有会聚特性，又有放大作用。但是放大倍数较小。 成像公式：1/u+1/v=1/f 焦距公式：1/f=K(NI)2/V f －透镜焦距 N－线圈匝数 I－透过线圈的激磁电流 K －常数 V －加速电压 在短磁透镜中，像会出现一定角度的偏转：像转角大小与电子速度有关，电子速度越大，像转角越小；像转角方向随H的方向而变，实际工作中，采用两个适当的线圈反向串联，可以使像转角相互抵消。 讨论单个电子在磁场中受洛伦兹力F的作用： 1、若V0与H同向，则 F= e V0 H sinα=0 电子将做匀速直线运动 2、若V0与H垂直，则 F=e V0 Hcosα= e V0 H 电子将作匀速圆周运动，其运动半径R、周期T分别为： R= m V0 /eH T=2π m /eH 3、磁浸没透镜 将物体放在接近磁透镜焦点的地方，也即是放在透镜的磁场中。就能获得很高的放大倍数。这样的透镜就称为磁浸没透镜。在电子显微镜中应用广泛。 4.磁透镜的种类 开启式磁透镜：由无铁壳的薄线圈通以电流而构成。其磁场不集中，仅在早期使用。 屏蔽式磁透镜：激磁线圈外加上铁壳，内边留有空隙。磁