扫描电镜(本科教学).ppt

Modern Analytical Instruments and Technology for Materials 扫描电镜 第一节 基础知识 光学透镜分辨率 利用光学显微系统将细节放大，满足人眼分辨率可以接受的程度，最大分辨率可达到200nm(放大倍数1000倍） 可见光的波长在390纳米到760纳米之间，而显微镜的分辨率最多也只能是其所使用光源的半波长的大小，所以光学显微镜的理论极限分辨本领也就在200纳米左右 电子显微镜的产生 既然是光源限制了显微镜的放大倍数和分辨率的发展，人们自然会想到：要想提高显微镜的放大倍数和分辨率，就应该更换波长更短的光源。随着人们对电磁波的认识，人们了解到：在一定的电压下电子束的波长可以达到零点几个纳米，使用电子束做为光源，显微镜的分辨率就可能提高几个数量级。 电磁透镜 研究发现：静电磁场可以使电子的运动方向发生改变，对称的静电磁场可以像玻璃聚焦光线那样把电子束汇聚成一点，这使得用电子束聚焦成像成为可能，这样就产生了电磁透镜。由于电磁透镜能把电子束象光一样地聚焦成像，所以使用电子束做为光源的显微镜就应运而生了。这就是电子显微镜。 第二节 扫描电镜成像原理 电子束与固体样品相互作用 1、二次电子成像原理图 2. 背散射电子成像原理 ? 背散射电子的产额与原子序数密切相关 在原子序数低于40范围内，原子序数越高，背散射电子产额越大，图象越亮，反之亦然 定性成分分析。 3、x射线元素分布图 能量与原子序数关系： E=A(Z-C) 第三节 扫描电镜的构造 一、电子光学系统 1. 电子枪 Electron Gun 2. 电磁透镜 Electron Lenses 3. 扫描线圈 Scanning coils ?扫描线圈作用 使电子束偏转，并在样品表面作有规则的扫动。 ? 扫描方式 ? 光栅扫描 （相貌分析） ? 角光栅扫描（电子通道花样分析） 4. 样品室 Sample chamber ? 主要功能： ? 放置样品 ? 安置信号探测器 ? 辅助功能（附件）： ? 加热和冷却试样 ? 机械性能试验 二. 信号的收集和图象显示系统 三. 真空系统 Vacuum ? 保持光学系统 正常工作； ? 防止样品污染 ? 真空度 1.33?10-2 --- 1.33 ?10-3Pa 第四节 主要性能 一. 分辨率 扫描电镜分辨率与检测信号种类有关 SEM分辨率测定方法 在已知放大倍数（一般在10万倍）条件下，把在图像上测到的最小间距（两个颗粒或区域）除以放大倍数所得数值就是分辨率。 第五节 样品制备 扫描电镜的最大优点是样品制备方法简单，对金属和陶瓷等块状样品，只需将它们切割成大小合适的尺寸，用导电胶将其粘接在电镜的样品座上即可直接进行观察。 对于非导电样品如塑料、矿物等，在电子束作用下会产生电荷堆积，影响入射电子束斑和样品发射的二次电子运动轨迹，使图像质量下降。因此这类试样在观察前要喷镀导电层进行处理。 对于生物样，清洗和固定很重要。 Pollen grain Stamens Flower with expandedovary Flower an array of electron field emitters three levels of copper interconnect metallization in IBMs new faster CMOS integrated circuits SEM view of IBMs six-level copper interconnect technology in an integrated circuit chip ? 电子光学系统 信号收集和图 象显示记录系统 ? 真空系统 电子枪 电磁透镜 扫描线圈 ? 样品室 ? Flament ?Wehnelt Cap ? Anode 功能：把电子枪的束斑逐级聚焦缩小，使原来直径约为50 ?m束斑缩小成一个只有数纳米的细小斑点。 扫描电镜有三个聚光镜 ?两个强磁透镜 缩小电子束光斑 ?一个弱磁透镜（物镜） 具有较长的焦距 ? 照射在样品上的电子束直径越小， 成像单元尺寸越小，分辨率越高。 光栅扫描 角光栅扫描 物镜 入射电子束 入射电子束 二次电子、背散射电子和透射电子 进入闪烁体，引起电离 离子和自由电子复合形成可见光 光信号放大，转换电流信号，视频放大成为调制信号 5~10 100~1000 100~1000 50~200 1~3 分辨率 俄歇电子 特征X射线 吸收