东洋金钢线切片机T-8252B.pdfVIP

速切断で生産性を 2 倍に高めた太陽電池用ワイヤーカッティングマシーンを発売 -独自技術とダイヤモンドワイヤーなどの採用により、シリコンウェーハの生産性を飛躍的に向上- トーヨーエイテック株式会社（本社 広島市南区、社長 龍田康登）は、従来の機械よりも生産性を 2 倍以上に高める太陽電池用ワイヤーカッティングマシーン「Ｔ-8252 Ｂ」を新たに開発し、本格的に販 売を開始した。同社が開発したのはダイヤモンドワイヤーを使用する固定砥粒仕様で、固定砥粒に特化 した商品を発売するのは同社では初のこと。 ワイヤーカッティングマシーンはスラリー（液体と砥粒の混合物）を使用してシリコンインゴット から一度に大量のシリコンウェーハを切り出す遊離砥粒仕様が主流であったが、最近では高速切断が可 能な固定砥粒仕様への期待が高まっており、 その期待に応えて商品化したもの。 Ｔ-8252 Ｂはダイヤモンドワイヤーの使用を 前提に新規開発したワイヤーカッティングマ シーンであり、固定砥粒の特長を最大限に引 き出す独自技術を随所に配している。 □156mm× Ｌ500mm のシリコンインゴットを 上下 2 段に配列できる 2 本切り仕様とした。 ワイヤーガイドを上下左右に4 本配し、1 本の ワイヤーを上段用と下段用に独立するかたち で巻き掛けて2 つのウェブを形成する独自の セパレートワイヤーウェブ方式を採用してい る。さらに、ワイヤーがねじれたり斜行した りしないようにボビンやプーリーを配置する とともに高出力モーターを搭載するなど、従 来のワイヤーカッティングマシーンと比較し て2 倍以上の高生産性や、毎分 1mm の高速切 断時でもＴＴＶ10μm 以下の高精度かつ98 ％ 以上の高歩留まりを実現した、次世代のワイ ヤーカッティングマシーンである。 固定砥粒ワイヤーカッティングマシーン Ｔ-8252B 太陽電池産業は急成長を続けており、高精 度かつ生産性を飛躍的に高めるＴ-8252 Ｂは、同社における戦略商品と位置づけている。Ｔ-8252 Ｂを市 場に導入することで、拡大するマーケットでのさらなる拡販を図る狙いである。同社では今後、固定砥 粒に特化した商品の開発を進めていく予定である。 【主な商品特長】 遊離砥粒によるシリコンインゴット切断はラップ加工に近い方法であるが、固定砥粒による切断は 研削加工に近い方法であるため加工能率が向上する。Ｔ-8252Ｂの開発にあたっては基本レイアウ トを決めることから設計をスタートし、その特性を最大限に引き出す独自技術を新たに採用するな ど、遊離砥粒加工では実現困難な高い生産性と高精度加工を両立させている。 ◆ 2 倍以上の高生産性 シリコンインゴットを上下2段に配置するレイアウトを採用すると同時に、左右のワイヤーガイド 軸間ピッチを最小化した。4軸あるワイヤーガイドは独立した高出力モーターでそれぞれを駆動し、 同期制御されている。ワイヤー走行速度は最大で1200m⁄分の高速走行と、短時間でワイヤーの往 復走行を繰り返す高加減速を実現した。 これらにより、往復走行時でもワイヤー平均走行速度1000m⁄分以上が可能となり、□125mm 単結晶 のシリコンインゴットの場合では1mm⁄分以上の高速切断を実現するなど、遊離砥粒加工と比較し て2倍以上の生産性を実現している。□125mmのシリコンインゴットであれば、1台で月間35万枚 以上のウェーハ生産が可能である。 ◆ ＴＴＶ10μm 以下の高精度 ワイヤーの高速往復走行や、新しいワイヤー掛け方式であるセパレートワイヤーウェブ方式、 φ220mm×Ｌ520mmの高剛性ワイヤーガイド、ワイヤーの張力を制御して切断位置での高張力を維 持するリテンション機構、固定砥粒の脱落を低減する「ねじれフリー」ワイヤーマネージメントな どを採用した。これらにより、ワイヤーの入口と出口の厚み差を解消しただけでなく、ワイヤーの 振れや飛び、たわみも抑制し、ＴＴＶ10μm以下の高精度、98％以上の高歩留まりを実現している。 ＜セパレートワイヤーウェブ方式＞ 1本のワイヤーを、独立した上下2 段のウェブ構造を形成するように巻き掛けた独自の方式。2軸 のワイヤーガイドで1つのウェブを形成し2本のシリコンイ