文献综述石铃涛.docVIP

文献综述 1.前 言 磁性传感器则是传感器中的一大门类，具有非接触测量、高可靠、坚固耐用、测量灵敏度高等特点。 早先的磁传感器，是伴随测磁仪器的进步而逐步发展的。在众多的测磁方法中，大都将磁场信息变成电讯号进行测量。在测磁仪器中“探头”或“取样装置”就是磁传感器。 随着信息产业、工业自动化、交通运输、电力电子技术、办公自动化、家用电器、医疗仪器等等的飞速发展和电子计算机应用的普及，需用大量的传感器将需进行测量和控制的非电参量，转换成可与计算机兼容的讯号，作为它们的输入讯号，这就给磁传感器的快速发展提供了机会，形成了相当可观的磁传感器产业。 2.发展简况 自从磁传感器作为一种独立产品进入应用以来，迄今，从T的人体弱磁场到高达25 T以上的强磁场，都可以找到相应的传感器进行检测。磁传感器的发展，在本世纪70～80年代形成高潮。90年代是已发展起来的这些磁传感器的成熟和完善的时期。 为适应整机小型化、智能化与高度性能发展的需要，磁传感器正在向着微小型、集成化、智能化和系统化等方面迈进。 在国外，由于磁传感器已逐渐被广泛而大量地使用，有许多企业竞相研制和生产，形成了一定规模的磁传感器产业。霍尔器件是半导体磁传感器中最成熟和产量最大的产品。旭化成(InSb霍尔元件)、Honeywell、Allegro(原称Sprague)、ITT、Semens(霍尔电路)等均已大量生产。Philips、Honeywell、Sony、IBM等已大量生产了金属膜磁敏电阻器及其集成电路。TDK、Sony、Matsushita、Toshiba等已批量生产非晶磁头等非晶金属磁传感器。还有LEM、Honeywell、F.W.Bell、NaNa等公司生产了各种用途和量程的电流、电压传感器和其它类型的磁传感器组件，这些磁传感器都已得到广泛的应用。 国内，除南京中旭微电子公司可大量生产霍尔集成电路、营口华光传感元件厂可批量生产薄膜磁阻器件、西南应用磁学研究所可批量生产威根德器件外，其余各类也有研制和小批量生产。据方芳预测：1995年，国内有41家企业生产磁传感器，总产量为2780万只。其中，霍尔器件1730万只，结型磁敏元件90万只，磁电阻元件850万只，威根德元件110万只。虽然其余各种磁传感器都有厂、所、校在进行研制，品种基本齐全，但仍未形成规模化产业。 3.磁传感器的产业性应用 磁传感器已经在许多领域获得了产业性的应用，每年所需用的磁传感器的总数量以十亿计。仅就日本电子工业振兴协会1992年的统计，该国1992年共用磁传感器11.08亿只，其中，64%为霍尔器件，主要用于无刷直流电机，32%为磁头，其余的4%用于其它领域。所用的各种磁传感器的数量在各类传感器中居于首位。 3.1 电机工业 无刷电机具有体积小、重量轻、效率高、调速方便、维护少、寿命长、不产生电磁干扰等一系列优点，年需求量数以亿计。据统计，日本1989年无刷电机的年产量已超过1.6亿台。 在无刷电机中，用磁传感器来作转子磁极位置传感器和定子电枢电流换向器。许多磁传感器，如霍尔器件、威根德器件、磁阻器件等都可以使用，但目前大量使用的，主要是霍尔器件。1992年，由泡特公司研制的大功率直流无刷电机问世，功率可达200 kW以上。 3.2 电力电子技术 电力电子技术是电力技术和电子技术的结合，可实现交直流电流的互相变换，并可在所需的范围内实现电流、电压和频率的自由调节。采用这些技术和产品，可做成各种特殊电源，（如UPS、高频电源、开关电源、弧焊机逆变电源等）和交流变频器等产品。（交流变频器用于电机调速，节能效果极好）。这些变流装置的核心，是大功率半导体器件。以磁传感器为基础的各种电流传感器被用来监测、控制和保护这些大功率器件。霍尔电流传感器响应速度快，且依靠磁场和被控电路耦合，不接入主电路，因而功耗低，抗过载能力强，线性好，可靠性高，既可作为大功率器件的过流保护驱动器，又可作为反馈器件，成为自控环路的一个控制环节。使用变流技术可以大量节能，目前国外使用的电能95%是经过变换来使用的，国内变流技术已受到高度重视，但仅5%的电能经过变换，有巨大的应用前景。此中，可能吸纳大量的电流传感器，是磁传感器的又一巨大的产业性应用领域。 3.3 能源管理 电网的自动检测系统需采集大量的数据，经计算机处理之后，对电网的运行状况实施监控，并进行负载的分配调节和安全保护。自动监控系统的各个控制环节，都可用以磁传感器为基础的电流传感器，互感器等来实施。目前霍尔电流传感器已逐步在电网系统中得到应用。用霍尔器件作成的电度表已从研制逐步转向实用化。用它们可自动计费并可显示功率因数，以便随时进行调整，保证高效用电。 4.关于磁传感