掩模版图形及尺寸.docVIP

掩模版图形及尺寸 以下列举了掩模版上需要的主要图形及尺寸 图形1 尺寸: 线条宽度: 1um, 1.2um, 1.5um, 1.8um, 2um 线条间距最小处: 2um 圆环半径: 60um, 100um, 200um, 400um 图形2 尺寸: 线条宽度: 1um, 1.2um 线条间距: 1um, 1.2um 图形3 尺寸: 线条宽度: 1um, 1.2um 线条间距最小处: 1um, 1.2um 圆环半径: 100um, 200um, 400um 图形4 尺寸: 线条宽度: 1um 线条间距: 1um 图形5 尺寸: 方块大小: 5um*5um 方块间距: 5um