[工学]精密与超精密加工课件第5章其他特种加工重做.pptVIP

第五章 其他特种加工技术 5.1 激光加工技术 1.激光的特性 1) 强度高 2)单色性好 3）相干性好 4)方向性好 (1) 几乎对所有的金属和非金属材料都可以进行激光加工。 (2) 激光能聚焦成极小的光斑。 (3) 可用反射镜将激光束送往远离激光器的隔离室或其它地点进行加工。 (4) 加工时不需用刀具，属于非接触加工，无机械加工变形。 (5) 无需加工工具和特殊环境，便于自动控制连续加工，加工效率高，加工变形和热变形小。 1) 激光器 2) 导光聚焦系统 3) 激光加工系统 5.2 电子束和离子束加工 一、电子束加工 1. 加工原理 ? 2．特点与应用 电子束加工的特点如下： 1)电子束能够极其微细地聚焦(可达l～0.1 μm) 。 2)加工材料的范围广。 3)加工在真空中进行，污染少，加工表面不易被氧化。 4)电子束加工需要整套的专用设备和真空系统，价格较贵，故在生产中受到一定程度的限制。 二、离子束加工 1．加工原理 离子束加工也是一种新兴的特种加工，它的加工原理与电子束加工原理基本类似，也是在真空条件下，将离子源产生的离子束经过加速、聚焦后投射到工件表面的加工部位以实现加工的。 离子束加工的物理基础是离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应。离子束加工可分为四类。 1) 离子刻蚀 2) 离子溅