微 机 电 系 统宣讲培训.pptVIP

二、在信息科学方面的应用 微操作夹持器 现代的机电产品的微型化带来了深刻的技术革命，手提电话、计算器、精密手表零件的组装面临着新的挑战。传统的手工装配方法对操作者的技术、劳动强度都有很高的要求，而且工作效率很低，操作工人的培养往往需要较长的时间。微操作机器人系统采用专门设计的工具、定位装置、照明装置和便于操作者操作的遥控作业系统，可以方便地装配和操作微机械零件。 微夹持器 三轴加速度计 三轴加速度计结合三个直交相似的电容加速度计，电容加速度计带有防潮、低阻抗，可用于商业和工业环境中测量加速度值。其内部每一个加速度计都包含有微型密封、微机械的电容传感单元和一个普通集成放大器，电镀铝制外壳采用环氧密封技术，该外壳可以很方便的用#8（M4）螺丝钉安装。 加速度传感器 微机械结构，微型尺寸，可以直接焊接在PCB版上。可以测量重力加速度，可以测量动态冲击加速度，也可以应用加速度传感器来集成倾角处理系统，测试速度和振动。内置放大和过滤器，抗冲击达5000g，供电范围宽：2.7-24V，IP66防护。量程从1g到100g。 可应用在控制手柄振动和摇晃，仪器仪表，汽车制动启动检测，地震检测，报警系统，环境监视，工程测振、地质勘探、铁路、桥梁、大坝的振动测试与分析；高层建筑结构动态特性和安全保卫振动侦察上。 微机电系统的特征 尺寸微小是微机电系统的基本特征 当尺寸小到微米或亚微米量级时，会产生微尺寸效应。它的影响将反映到诸如结构材料、设计理论、制造方法、在微小范围内各种能量的相关作用及测量技术等许多方面。也就是说，工程上常用的尺寸缩放法不适用于由微尺寸元器件组成的微装置；因而，传统的设计理论、方法及一些物理定律不能完全套用，许多理念需要更新和重新建立，必须从新的构思出发去探索微机械由于尺寸效应形成的一些特殊现象和规律。 微尺寸效应的影响 1、微尺寸效应对于元器件间的作用力的影响 随着尺寸的减小，与尺寸3次方成比例的像惯性力、体积力及电磁力等的作用将明显减弱；而与尺寸2次方成比例的像粘性力、表面力、静电力及摩擦力等的作用则明显增强，并成为影响微机械性能的主要因素。 在微机械设计中，多利用静电力驱动。 在微机械中，又由于表面积与体积之比相对增大，使热传导的速度也相对增加。 研究微机械中的摩擦、磨损的特性与机理是该领域的主要课题之一。 2、微尺寸效应对于元器件机械强度的影响 随着元器件尺寸的减小，元器件材料内部缺陷出现的可能性减小，因而元器件材料的机械强度会增加。所以微型元器件的弹性模量、抗拉强度、疲劳强度及残余应力均与大零件有所不同。 3、微尺寸效应对于元器件惯性和热容量的影响 由于微尺寸效应，导致微机电系统的惯性小、热容量低，容易获得高灵敏度和快响应。 4、微尺寸效应对于元器件信号检测的影响 由于微尺寸效应，导致微机电系统的前端装置（如微传感器）的输出信号十分微小，传统的测量工具和仪器难以实现如此微弱信号的检测，必须创造新的测量设备。 5、微尺寸效应对于元器件设计方法的影响 微机电系统尺度的缩小，集成化程度的提高．会导致工序增多，成本增高；所以应在试制前对整个微饥电系统的器件、工艺及性能进行模拟分析，对各种参数进行优化，以保证微系统的设计合理、正确，降低研制成本，缩短研制周期。显然，传统的设计方法(基本上为试凑法)巳难以满足上述新要求，必须寻求新的设计途径。 其中最流行的设计方法就是微机电系统的计算机辅助设计(MEMS CAD)。运用MEMS CAD，除了借鉴已有的机械CAD和电子工具外，还必须针对特定的微系统，开发专用的CAD建模软件。这方向有大量的工作要做。 微机电系统的材料 微机电系统常用材料 传统的机电系统，用得最多的是金属材料，采用传统的机械制造工艺制作而成；而微机电系统最常用的则是硅及其化合物材料。以及特种合金、石英、塑料和陶瓷等。1982年K.E.Petersen发表了一篇著名的论文“硅作为机械材料”，引起了人们对硅的重新认识。 硅及其合金材料的特点 硅是容易获得的超纯无杂的低成本材料，有极好的机械特性和电学特性，非常适合制造微结构； 便于利用集成电路(IC)工艺和微机械加工工艺进行批量生产； 硅微结构便于和微电子线路实现集成化。 微机电系统的制造技术 微机电系统制造的特点 由于微机电系统及器件多种多样，不仅和微电子之间有交联，还和外界其它物理量相互作用，并且为体型结构。因此，集成电路制造技术，包括版图设计、刻蚀工艺、薄膜工艺以及模拟技术等已发展得较为成熟，能成功地用于微电子器件和集成电路的制作，但它不能完全满足微机电系统及其器件的制造要求。 微机电系统专用制造方法