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含氢电极脉冲放电等离子体特性诊断槡狇-强激光与粒子束
第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ,
23 5 Vol.23 No.5
年 月 ,
2011 5 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Ma 2011
y
文章编号: ( )
10014322201105136104
含氢电极脉冲放电等离子体特性诊断
, ,
12 1 1 1 1 1 12
陈 磊 , 金大志 , 程 亮 , 石 磊 , 谈效华 , 戴晶怡 , 胡思得
( 中国工程物理研究院 电子工程研究所,四川 绵阳 ; 清华大学 工程物理系,北京 )
1. 621900 2. 100084
摘 要: 利用飞行时间质谱法诊断了含氢电极脉冲真空弧离子源放电等离子体成分、离子电荷状态及离
+ +
子扩散速度等特性。实验结果表明,含氢电极脉冲真空弧离子源放电等离子体的离子成分主要由 , ,
H Ti
2+ 和 3+ 组成,其中 2+ 占主要部分。当放电电流为 时, 离子的平均电荷数在 之
Ti Ti Ti 40 80A Ti 1.95 2.13
~ ~
间,随着放电电流的增大,平均电荷数也会增加。同时诊断了不同离子的扩散速度,其值均在 4 /量级,但
10m s
不同离子的扩散速度有所不同。
关键词: 飞行时间; 含氢电极; 离子电荷; 离子扩散速度; 阴极斑
中图分类号: 文献标志码: : /
TN752.5 A 犱狅犻10.3788HPLP1361
脉冲真空弧放电因能产生强流金属离子束或者金
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