测量透明薄膜表面三维轮廓的新型白光干涉法.docVIP

测量透明薄膜表面三维轮廓的新型白光干涉法 第26卷第5期南京邮电大学(自然科学版) 2006年1O月JournalofNanjingUniversityofPostsandTelecommunications(NaturalScience) V01.26No.5 0ct.2006 文章编号:1673—5439(2006)05-0086-05 测量透明薄膜表面三维轮廓的新型白光千涉法 刘艳,丁万山 (南京航空航天大学自动化学院,江苏南京210016) 摘要:基于新型的峰值分离算法,提出了白光干涉法(垂直扫描白光测量法)的一种新的应用——测 量覆盖透明薄膜的物体表面的三维轮廓,并同时测量出透明薄膜的三维轮廓和厚度信息,克服了传 统光学非接触测量的缺点,拓展了白光干涉法的应用领域.这一技术可用于检测光学厚度约为 1m或以上的透明薄膜,可广泛有效的应用于半导体和LCD加工制造等需要精细测量的领域. 关键词:应用光学;白光干涉测量;表面三维轮廓;透明薄膜 中图分类号:0439文献标识码:B 3DProfileofaTransparentFilmUsingNovelWhite—LightInterferometry LIUYan,DINGWan—shan (CollegeofAutomationEngineering,NanjingUniversityofAeronauticsandAstronautics,Nanjing210016,China) Abstract:BasedOilthenovelpeakseparationmethod,thispaperpresentsannewapplicationofWhite—Light Interferometry(VerticalScanningWhite—Lightlnterferometry),thatistomeasurethe3-Dsurfaceprofileoftheobject coveredwithatransparentfilmandtomeasurethe3-Dprofileandthicknessofthetransparentfilmsynchronously. Thisnewapplicationovercomesthedrawbackoftraditionalopticalnon??contactmeasurementandextendstheappli?? cationofWhite—LightInterferometry.Thistechniqueissuitabletotransparentfilmswiththeopticalthicknessof印一 proximately1p,morgreater,anditisusedeffectivelyinthefieldsrequiringprecisemeasnrementsuchassemicon— ductorandLCDmanufacturingprocesses. Keywords:Appliedoptics;White—lightinterferometry;Surface3Dprofile;Transparentfilm 引言 光学非接触测量法作为一种有效的无损测量的 方法而被广泛应用于工业,生物医学等领域中对微 观物体表面三维形貌轮廓的测量.实际情况中,被 测物体往往不是直接暴露而是表面覆盖一层薄膜以 满足实际需要,要完成这种情况下的测量,传统光学 非接触测量法就存在一定缺陷:由原被测表面产生 的干涉光由于透明薄膜的覆盖影响被干扰,从而无 法测量出被测表面精确的三维轮廓信息. 收稿日期:2006-01—11;修回日期:2006-03-08 白光干涉测量法…(也称为垂直扫描白光测量 法),这一理论最早在1980年已被提出,随后也有学 者研制出了相应的测量装置.本文在前人的理论研 究基础之上,借助新型的峰值分离算法,提出了白光 干涉法新的应用——即可用于测量覆盖透明薄膜的 物体表面的三维轮廓,并同时测量出透明薄膜的三 维轮廓和厚度信息.这一新的应用克服了传统光学 非接触测量在实际应用中的局限性,拓展了白光干 涉法的应用领域,使其更加适合不同实际情况下的 测量,可广泛有效的应用于半导体和LCD加工制造 等需要精细测量的领域. 第5期刘艳等:测量透明薄膜表面三维轮廓的新型白光干涉法87 2测量原理 利用白光干涉法的原理,设计出了系统装置结 构.图1显示了该系统的光路结构示意图.本系统 利用白光作为光源,当光源沿着被测物体的高度垂 直方向(z轴方向)扫描时,CCD摄像机所拍摄下的 光强信号就会发生相应的变化,即产生了图2所示 的光照干涉图样.根据干涉原理,当测量光束与参 考光束两者的光程差为0(即两者光程相