复旦大学MEMS经典案例.pptx

复旦大学MEMS报告; 一、研究机构 二、研究方向 三、仪器设备 四、研究成果及发表文献 ;一、复旦大学MEMS相关研究机构;邯郸校区微电子楼;张江校区微电子楼; 学院由原“微电子研究院”、“信息学院微电子学系”和“985微纳电子科技创新平台”合并而成，依托复旦大学“微电子学与固体电子学” 学科几十年的积累，有着雄厚的技术和学术优势，学院拥有全国唯一的“专用集成电路和系统国家重点实验室(复旦大学)”，其所在一级学科具有博士学位授予权和博士后流动站，与英特尔、亿恒、阿尔卡特等国际知名公司建立了联合实验室，拥有先进的公共实验平台和各类达到国际先进水平的设计软、硬件系统。; 复旦大学作为我国微电子学科的创建者之一，又地处我国集成电路产业最聚集的地区上海，具有建设好微电子学院的独特优势。复旦大学微电子学院围绕国家重大需求，在高端人才培养、科学研究和成果转化上，以创新的模式实现“政产学研用”的无缝联接，将为支撑我国半导体芯片产业跨越式发展做出更多贡献。;（2）微纳电子器件与工艺实验室 ; 平台拥有主体千级、部分区域百级、总洁净面积达到约800平米的洁净室，放置了先进的集束系统(集成了PVD/ALD/RTP/XPS等)、铜互连先进扩散阻挡层淀积和分析系统、纳米管和石墨烯淀积设备、反应离子刻蚀、微波退火系统等关键设备，同时洁净室还放置了高端电子束曝光设备JEOL 6300 FS和ICP刻蚀等关键设备，显著提升了工艺研究方向的服务能力，对微电子学科的发展具有重大意义。; 平台瞄准国际集成电路、超深亚微米/纳米电子材料与工艺和超高速电子器件的发展前沿，面向国家重大需求，开展微纳电子器件与工艺关键技术的研发，力争解决国家在极大规模集成电路制造工艺领域中的部分重大科学和技术问题。近年来平台负责承担和完成了包括国家“02重大专项”、“863”计划及国家自然科学基金等项目在内的各类项目共计近50项。目前为止，平台已出版中英文专著6部，并在Advanced Materials、Applied Physics Letters、IEEE Electron Device Letters、IEEE Transaction on Electron Device和Journal;of Applied Physics???专业期刊上发表论文近300余篇，申请专利150多项。此外，平台积极开展国内外学术交流与合作，并与国内多家集成电路制造公司的领头企业，如中芯国际、华虹NEC等，建立了长期深入的合作关系。平台的发展目标是在微纳电子领域的学术研究、人才培养和应用技术等方面在国内处于领先水平，部分研究成果达到国际一流水平。;二、复旦大学MEMS相关研究方向;（1）系统芯片设计及应用;（2）芯片设计方法学与设计自动化;（3）集成电路器件与工艺;2、微纳电子器件与工艺实验室;2、微纳电子器件与工艺实验室;三、复旦大学MEMS相关仪器设备;原理：;技术指标：;2、SEM改装型电子束直写仪;主要功能：;技术指标：;3、等离子体增强化学气相沉积（Oxford Plasmalab System100 PECVD）;原理：;一般说来,采用 PECVD 技术制备薄膜材料时， 薄膜的生长主要包含以下三个基本过程： 首先，在非平衡等离子体中，电子与反应气体发生初级反应，使得反应气体发生分解，形成离子和活性基团的混合物； 其二，各种活性基团向薄膜生长表面和管壁扩散输运，同时发生各反应物之间的次级反应； 最后，到达生长表面的各种初级反应和次级反应产物被吸附并与表面发生反应，同时伴随有气相分子物的再放出。 PECVD的优点是：基本温度低，沉积速率快，成膜质量好，针孔较少，不易龟裂 ;技术指标：;4、薄膜溅射系统ULVAC;5、原位薄膜淀积和分析系统;6、物理气相沉积PVD;7、感应耦合刻蚀机;8、快速热退火系统(ASONE);四、研究成果及发表文献; 北京时间2013年8月9日出版的最新一期《科学》杂志（Science）刊发了实验室团队——复旦大学微电子学院张卫团队最新科研论文，团队首次提出并实现了一种新型的微电子基础器件：半浮栅晶体管（SFGT，Semi-Floating-Gate Transistor）。这是我国科学家在该顶级学术期刊上发表的第一篇微电子器件领域的原创性成果。 据悉，当代集成电路科技的发展主要是基于摩尔定律，该定律是由英特尔公司创始人之一戈登-摩尔提出的：芯片上的晶体管特征尺寸在不断地缩小，使得芯片上的晶体管数量每隔18个月便会增加一倍。; 目前，集成电路的量产技术已发展到了22纳米技术节点，尽管我国在自主知识产权集成电路技术上取得了长足进步，