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抽空曲线及其信息值 显示和解释不同真空范围内的工艺 在设计和操作真空系统时，抽空曲线是常用的控制手段。通过它们 低真空范围内的泵曲线：显示连接、解释和应用 可以推导出系统中的任何问题，并且可以评估正确的泵性能。 参考曲线可以在系统正常运行且启动后没有出现任何问题的情况下 抽空曲线描述真空系统中随时间变化的压力下降趋势。在图解 进行测量。在这些条件下，在抽空过程中，依据时间的变化对压降 中，X 轴代表时间，Y 轴代表压力。在已知真空室和泵的几何结构 进行测量。测量可以通过使用系统控制手动进行，或使用普发真空 情况下，可以计算出抽空曲线。计算和测量的抽空曲线之间的任何 提供的真空计软件包。 偏差通常可以提供真空系统中有关问题的信息。这也适用于长时间 使用所测量的曲线和参考曲线之间的对比。 流动阻力与长度线性相关，但是直径的三次方或四次方。如果有疑 Pump down curve of a 100-liter chamber 问，应该将增加直径作为纠正措施，而不是缩短连接件。在这种情 with a rotary vane pump Duo 65 况下，两条曲线之间的比较显示了管道的影响，并可以帮助用于真 ] 1000 a 空室与泵之间的连接设计。 P h [ 100 e r 10 抽空曲线显示不同程度的影响 u s s e 1 r P 0.1 真空系统的操作可以受到不同因素的大幅度影响： 0.01 ■ 水分的影响 0.001 0 0.5 1 1.5 2 2.5 3 3.5 图 3 显示了抽空过程中存在少量水分所造成的影响： Pump down curves, ideal Time [min] 之前已经实现的底压下降超过 100 倍，且时间范围似乎变为了 图 1：带 Duo 65 旋片泵的 100 升真空室抽空曲线 无穷大。该曲线示例已经在现有镀膜系统中测量过。随着时间的 推移，部件和载体都已涂覆。部件的镀膜过程需要精心控制，才 能实现具有高黏度和量身定制的摩擦磨损性能的致密层。然而， Conductance Effect 载体的镀膜是一个随机的过程，这导致涂层呈松散、易碎、低黏 度的多层结构。松散多层结构往往容易释放粒子且形成较大的表 ] 1000