第九章-扫描探针显微分析技术知识.pptVIP

第四章 扫描探针显微分析技术 ;第四章 扫描探针显微分析技术;一. 绪论; 第一代为光学显微镜;第二代为电子显微镜 ;第三代为扫描探针显微镜;三种观察原子的方法比较 ;2.1 扫描隧道显微镜（STM）的基本原理 2.2 STM两种扫描模式 2.3 STM的优势、局限性与发展 ;隧道电流是间距的指数函数； 如果针尖与样品间隙（?级尺度）变化10%，隧道电流则变化一个数量级。 ;2.2 STM两种扫描模式 ;; 扫描隧道显微镜(STM) 在研究物质表面结构、生物样品及微电子技术等领域中成为很有效的实验工具。例如生物学家们研究单个的蛋白质分子或DNA分子；材料学家们考察晶体中原子尺度上的缺陷；微电子器件工程师们设计厚度仅为几十个原子的电路图等，都可利用扫描隧道显微镜(STM)仪器。 ; 在扫描隧道显微镜(STM)问世之前，这些微观世界还只能用一些烦琐的、往往是破坏性的方法来进行观测。而扫描隧道显微镜(STM)则是对样品表面进行无损探测，避免了使样品发生变化，也无需使样品受破坏性的高能辐射作用。 另外，任何借助透镜来对光或其它辐射进行聚焦的显微镜都不可避免的受到一条根本限制：光的衍射现象。由于光的衍射，尺寸小于光波长一半的细节在显微镜下将变得模糊。而扫描隧道显微镜(STM)则能够轻而易举地克服这种限制，因而可获得原子级的高分辨率。;瑞士苏黎世研究实验室的宾尼格(G．Binnig)和罗赫(H．Rohrer)发明的扫描隧道显微镜(简称STM)，在技术上实现了对单个原子的控制与操作。为此，他们与显微镜发明人鲁斯卡分享了1986年诺贝尔物理学奖。;; 在扫描隧道显微镜(STM)观测样品表面的过程中，扫描探针的结构所起的作用是很重要的。如针尖的曲率半径是影响横向分辨率的关键因素；针尖的尺寸、形状及化学同一性不仅影响到STM图象的分辨率，而且还关系到电子结构的测量。因此，精确地观测描述针尖的几何形状与电子特性对于实验质量的评估有重要的参考价值 。;1. 在扫描隧道显微镜(STM)的恒电流工作模式下，有时它对样品表面微粒之间的某些沟槽不能够准确探测，与此相关的分辨率较差。图2摘自对铂超细粉末的一个研究实例。它形象地显示了扫描隧???显微镜(STM)在这种探测方式上的缺陷。铂粒子之间的沟槽被探针扫描过的曲面所盖，在形貌图上表现得很窄，而铂粒子的粒径却因此而被增大了。在TEM的观测中则不会出现这种问题。 ;图2? STM恒电流工作方式观测超细金属微粒（Pt/C样品） ;2 扫描隧道显微镜(STM)所观察的样品必须具有一定程度的导电性，对于半导体，观测的效果就差于导体；对于绝缘体则根本无法直接观察。如果在样品表面覆盖导电层，则由于导电层的粒度和均匀性等问题又限制了图象对真实表面的分辨率。 ;三. 原子力显微技术（AFM）;3.1 原子力显微镜/AFM的基本原理 ; 二极管激光器发出的激光束经过光学系统聚焦在微悬臂背面，并从微悬臂背面反射到由光电二极管构成的光斑位置检测器。在样品扫描时，由于样品表面的原子与微悬臂探针尖端的原子间的相互作用力，微悬臂将随样品表面形貌而弯曲起伏，反射光束也将随之偏移，因而，通过光电二极管检测光斑位置的变化，就能获得被测样品表面形貌的信息。 ;;;2． 原子力显微镜/AFM的硬件结构;力检测部分 ;位置检测部分 ;反馈系统 ;;3.2 造成AFM悬臂偏转的力;3.3两种类型的AFM;3.3.1 接触式AFM;3.3.2 非接触AFM;轻敲式（tapping mode)：; 四. 磁力显微技术;4.1磁力显微技术;本章重点