化学供应系统控制改善研究.PDFVIP

Personal Data (D) Macronix Proprietary 化學供應系統控制改善研究 1 2 王斌豫 王述熙 1 旺宏電子晶圓一廠廠務部 bywang@.tw 2 旺宏電子晶圓一廠廠務部 samwang@.tw 摘要 本廠化學供應系統已設置廿年，因逐年使用面臨控制元件老舊，尤以化學補酸桶控制磅秤及 化學品供應泵浦控制氣源光纖老舊問題為最嚴峻。如採全面更新方案，所需費用高昂。本廠研究 採用電子元件之訊號替代控制，以取代昂貴更新方案。改善研究一：化學補酸桶控制磅秤改善， 以電容式感應器、訊號轉換器；改善方式為藉電容式感應器偵測化學管路流量，電容式感應器訊 號藉訊號轉換器轉換成可供供酸機台讀取之訊號，製作化學補酸控制磅秤替代功能組件。改善研 究二：化學品供應泵浦氣源控制光纖改善；以訊號轉換器、繼電器、計時器、電磁閥，以訊號轉 換器讀取叫酸訊號，並轉成控制計時器訊號，藉計時器定時裝置控制繼電器及電磁閥，製作化學 品供應泵浦控制氣源光纖替代組件。以此兩項改善方案，達成費用低廉、提升機台控制效率及降 低化學桶使用殘量之改善方案。 關鍵字(3~5 個字) ：電子元件、化學補酸桶控制磅秤替代、化學品供應泵浦氣源控制光纖替代 、 化學桶使用殘量 。 一、前言 本廠化學供應系統(B 牌系統)已設置及使用廿年，使用元件中之補酸桶磅秤與化學品供應泵 浦，因使用次數頻繁，效能衰減較其它元件快。之前均以自原廠或代理商購進新品，以更新方式 進行，但費用均已數十萬計，費用昂貴。故近年必需思索突破方式，減少對原廠之依賴。達成技 術之自主性。 二、現況分析 針對補酸桶磅秤改善，本廠曾測試另一種成本較低的磅秤，但實際測試結果無法適用於B 牌系統的供酸機台。故需改變方式。 深入探討補酸桶磅秤功能，除乘載固定補酸桶外，於本廠供應系統，為量測補酸桶於空桶狀 況，即當補酸桶磅秤量秤補酸桶重量，並傳輸給供應系統程式控制器，當傳輸訊號已低於程式控 制器內空桶設定值，且在指定時間內其重量無變化。程式控制器即判斷補酸桶已使用完畢，傳出 空桶訊號給中控電腦，並中止補酸泵浦運作。 當補酸桶更換完畢，補酸桶磅秤量秤補酸桶重量已高於空桶設定值，程式控制器即消除空桶 訊號，並恢復補酸泵浦運作。綜合以上兩點，我們只需對程式控制器接收之訊號，予以外部模擬， 即能控制空桶訊號之有無。取代磅秤輸出訊號功能。 針對化學品供應泵浦改善，本廠使用F 牌供應泵浦，其耗損速率較高元件為隔膜光纖感應 器。依維修經驗其液/氣室隔膜拆開均無故障。如因隔膜光纖感應器故障而更換供應泵浦，猶如 轎車車門故障即更換新車，不符成本效益。隔膜光纖感應器作動為驅動泵浦氣動軸左右運作，以 Personal Data (D) Macronix Proprietary 輸出供應化學品 。如能取代隔膜光纖感應器方式，即可節省更換新泵浦費用。 三、解決方案 3-1.補酸桶磅秤解決方案：研究人員量測程式控制器接收訊號與磅秤輸出訊號，為一次線性 mV 。當磅秤上無物品(重量0 磅) ，磅秤輸出訊號為0mV ；當磅秤放置400 kg 物品 ，磅秤輸出訊 號為20mV(如圖一) 。 於補酸桶重量降至300 kg 、150 kg 、80kg 時，量測磅秤輸出分別15mv 、7.5mV 、4mV 。代表 磅秤輸出與量測重量為線性關係。故只需找到穩定的外部模擬訊號，即可取代磅秤傳輸功能，使 磅秤餘補酸桶