电子能谱分析总结XPS与AES.pdf

电子能谱分析 电子能谱分析 XPS和AES XPS和AES 朱永法 朱永法 清华大学化学系 清华大学化学系 2002年4月4日 2002年4月4日 表面分析信息 表面分析信息 � 表面元素分析 � 表面元素分析 � 表面元素的化学状态 � 表面元素的化学状态 � 表面与界面的半定量分析 � 表面与界面的半定量分析 � 元素与化学态沿深度方向的分布分析 � 元素与化学态沿深度方向的分布分析 � 样品表面的选点分析 � 样品表面的选点分析 � 样品表面的线扫描分析 � 样品表面的线扫描分析 � 样品表面的元素面分布 � 样品表面的元素面分布 � 价态电子结构分析 � 价态电子结构分析 2 清华大学化学系表面与材料研究组 2 清华大学化学系表面与材料研究组 X射线光电子能谱（XPS） X射线光电子能谱（XPS） � X射线光电子能谱（XPS）也被称作化学分析用电 � X射线光电子能谱（XPS）也被称作化学分析用电 子能谱（ESCA） 子能谱（ESCA） � 在普通的XPS谱仪中，一般采用的Mg Kα 和Al � 在普通的XPS谱仪中，一般采用的Mg Kα 和Al Kα X射线作为激发源，光子的能量足够促使除 Kα X射线作为激发源，光子的能量足够促使除 氢、氦以外的所有元素发生光电离作用，产生特 氢、氦以外的所有元素发生光电离作用，产生特 征光电子。由此可见，XPS技术是一种可以对所 征光电子。由此可见，XPS技术是一种可以对所 有元素进行一次全分析的方法，这对于未知物的 有元素进行一次全分析的方法，这对于未知物的 定性分析是非常有效的。 定性分析是非常有效的。 � 60年代开始研究仪器；70年代，商用仪器 � 60年代开始研究仪器；70年代，商用仪器 � 多功能，小面积，自动化 � 多功能，小面积，自动化 3 清华大学化学系表面与材料研究组 3 清华大学化学系表面与材料研究组 XPS原理－光电离 XPS原理－光电离 � X射线光电子能谱基于光 � X射线光电子能谱基于光 电离作用，当一束光子辐 电离作用，当一束光子辐 照到样品表面时，光子可 照到样品表面时，光子可 以被样品中某一元素的原 以被样品中某一元素的原 子轨道上的电子所吸收， 子轨道上的电子所吸收， 使得该电子脱离原子核的 使得该电子脱离原子核的 束缚，以一定的动能从原 束缚，以一定的动能从原 子内部发射出来，变成自 子内部发射出来，变成自 由的光电子。 由的光电子。 � 能级图和轨道示意图 � 能级图和轨道示意图 4 清华大学化学系表面与材料研究组 4 清华大学化学系表面与材料研究组 光电子的结合能 光电子的结合能 � 在光电离过程中，