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电子能谱分析
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XPS和AES
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朱永法
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清华大学化学系
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2002年4月4日
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表面分析信息
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� 表面元素分析
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� 表面元素的化学状态
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� 表面与界面的半定量分析
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� 元素与化学态沿深度方向的分布分析
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� 样品表面的选点分析
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� 样品表面的线扫描分析
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� 样品表面的元素面分布
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� 价态电子结构分析
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清华大学化学系表面与材料研究组 2
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X射线光电子能谱(XPS)
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� X射线光电子能谱(XPS)也被称作化学分析用电
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子能谱(ESCA)
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� 在普通的XPS谱仪中,一般采用的Mg Kα 和Al
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Kα X射线作为激发源,光子的能量足够促使除
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氢、氦以外的所有元素发生光电离作用,产生特
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征光电子。由此可见,XPS技术是一种可以对所
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有元素进行一次全分析的方法,这对于未知物的
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定性分析是非常有效的。
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� 60年代开始研究仪器;70年代,商用仪器
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� 多功能,小面积,自动化
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清华大学化学系表面与材料研究组 3
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XPS原理-光电离
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� X射线光电子能谱基于光
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电离作用,当一束光子辐
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照到样品表面时,光子可
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以被样品中某一元素的原
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子轨道上的电子所吸收,
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使得该电子脱离原子核的
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束缚,以一定的动能从原
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子内部发射出来,变成自
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由的光电子。
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� 能级图和轨道示意图
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清华大学化学系表面与材料研究组 4
清华大学化学系表面与材料研究组
光电子的结合能
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� 在光电离过程中,
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