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影响三坐标测量机的精度和长期稳定性的因素
机械精度:
(一)21项机械制造误差。
静态误差:
由定位误差(3个)+直线度误差(6个)+垂直度误差(3个)共12项误差组成。测
量软件可进行补偿修正,但必须用双频激光干涉仪、激光准直仪、光学平尺等检测出
误差值的大小,按照其补偿数学模型进行修正。
ⅰ. 定位誤差
δx(x) —沿X軸運動時延X方向的定位誤差;
δy(y) —沿Y軸運動時延Y方向的定位誤差;
δz (z) —沿Z軸運動時延Z方向的定位誤差。
ⅱ. 直線度誤差
δy(x) —沿X軸運動時延Y方向的直線度誤差;
δz(x) —沿X軸運動時延Z方向的直線度誤差;
δx(y) —沿Y軸運動時延X方向的直線度誤差;
δz(y) —沿Y軸運動時延Z方向的直線度誤差;
δx(z) —沿Z軸運動時延X方向的直線度誤差;
δy(z) —沿Z軸運動時延Y方向的直線度誤差。
ⅲ .垂直度誤差
αxy —X、Y軸間的垂直度誤差;
αxz —X、Z軸間的垂直度誤差;
αyz —Y、Z軸間的垂直度誤差。
动态误差:
由滚转误差(3个)+俯仰误差(4个)+偏摆误差(2个)共9项误差组成。测量软件
可进行补偿修正;但必须用双频激光干涉仪、激光准直仪、电子水平仪等检测出误差
值的大小,按照其补偿数学模型进行修正。
ⅳ. 轉度誤差(角运动誤差)
εx(x) —沿X軸轉動時繞X方向的轉動誤差(滚转误差);
εy(y) —沿Y軸轉動時繞Y方向的轉動誤差(滚转误差);
εz(z) —沿 Z軸轉動時繞Z方向的轉動誤差(滚转误差);
εy(x) —沿X軸轉動時繞Y方向的轉動誤差(俯仰误差);
εx(y) —沿Y軸轉動時繞X方向的轉動誤差(俯仰误差);
εy(z) —沿Z軸轉動時繞Y方向的轉動誤差(俯仰误差);
εx(z) —沿Z軸轉動時繞X方向的轉動誤差(俯仰误差);
εz(x) —沿X軸轉動時繞Z方向的轉動誤差(偏摆误差);
εz(y) —沿Y軸轉動時繞Z方向的轉動誤差(偏摆误差);
3.21项机械制造误差的产生原因
ⅰ. 静态误差:
主要是花岗岩工作台、横梁和Z轴的制造误差;
机械结构的装配误差;
ⅱ. 动态误差:
传动系统传动的平稳性及传动的方式(即中央或单边驱动);
运动控制对于运动轨迹的控制能力;
运动部分即移动桥的重量;
运动部分即移动桥的结构重心的高低;
运动部分即移动桥的的跨度的大小;
机械结构的装配误差;
机械结构的受力布局状况;
a .三轴的气动布局
空气轴承在三轴导轨面上的布局状况:受力的受力平衡、受力支撑点的数量及
各受力支撑点的大跨距的分布,来提高运动部件的抗扭摆的能力。
b.中央滑架的设计
中央滑架直接将横梁和Z轴两轴的运动相连接,其刚性结构的强弱,也直接影
响着运动部分的结构动态变形、动态运动误差及其机械结构的长期稳定性。
c.横梁的设计
移动桥架的机械结构的自重
其运动部分质量越轻,在高速、高加速度运动时所产生的惯性力越小,变形量
也越小,特别是对于扫描测量,结构动态变形所引起的误差非常重要。
(二)机械结构的微观变形量
主要由结构刚性、外力、自重、内应力及温度等变形构成;
机械结构刚性引起的变形量
材料自身内应力引起的变形量
主要是材料材质的质量和冶炼、铸造技术工艺所决定的。
材料内部结构的微观离子的均匀性-------引起的材料内应力
ⅰ.热处理时效处理
可取除95%以上的材料内部结构的应力;
ⅱ.振动时效处理
采用振动实验台,利用高频的振动从而引起材料内部结构的微观离子分布变
化,以达到取除材料内部结构的应力;
ⅲ.自然时效处理
可取除残留的材料内部结构的应力;
3.材料的热变形
ⅰ.线性温度结构变形:由于材料存在“热胀冷缩”的物理现象,不同材料按照不同的热膨胀系数所进行的变形。
线性温度结构变形可以通过测量软件进行完全修正。
机械结构的线性变形主要在于材料的热传导性的好坏。
ⅱ.复杂温度结构变形:由于材料结构内部所存在的温度梯度(即温度的不均衡)所造成的变形。
复杂温度结构变形无法通过测量软件进行完全修正。
复杂温度结构变形是由材料的热传导性较差所引起的。
ⅲ.在不同的材料之间,由于其自身的材料导热率、热膨胀系数的不同,其由于
环境温度所引起的热弯曲变形量是不同的。
研究数据表明:铝导轨对热弯曲具有最佳的适应性。其热弯曲变形量是花岗岩的1/10,是陶瓷的1/6,是钢的1/18。
材料性能参数指标 花岗岩 陶瓷 铝合金 钢 材料密(g/cm3) 2.8 3.7 2.7 7.9
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