gan基异质结材料应变研究及电学特性分析 word格式.docxVIP

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2018-04-24 发布于上海
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gan基异质结材料应变研究及电学特性分析 word格式.docx

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gan基异质结材料应变研究及电学特性分析 word格式

ABSTRACT3.ThefilmstrainandtheRSM（ReciprocalSpaceMap）straingradientoftheAlGaN/AlNsuper-latticehadbeenresearchedbytheHRXRDandAFMetal,aswellas theAl-componentandtheparameterofthesuper-lattice.Theseresearcheshadrevealledthatthestraincouldberegulated,andthedisordercouldbefilteredbythestructureof thesuper-lattice,andthefilmqualitycouldbeimprovedwiththeincreaseofthenumberoftheperiodoftheAlGaN/AlNsuper-lattice.Keywords:GaN,HRXRD,Strain,Electricalproperties,Mosaicstructure.目录目录第一章绪论.....................................................................................................................11.5 本论文的选题依据和研究内容.............................................................................61.5.1 本文的选题依据..............................................................................................61.5.2 本文的主要研究内容......................................................................................6第二章实验平台构建及测试原理.................................................................................82.1 X射线衍射仪介绍82.1.1 X射线源82.1.2 X射线的平行化及单色化82.1.3 X射线衍射仪简介92.2 半导体外延单晶薄膜的高分辨X射线衍射表征方法及原理102.2.1 实空间的布拉格衍射基本原理.....................................................................102.2.2 X射线衍射几种光路模式112.2.3 倒易空间的基本原理.....................................................................................122.2.4 倒易空间的扫描模式....................................................................................132.2.5倒易空间图（ReciprocalSpaceMapping）142.2.6 衍射实验的基本方法....................................................................................14目录对称衍射（SymmetricDiffraction）14非对称衍射（AsymmetricDiffraction）15斜对称衍射（SkewDiffraction）152.2.7 镜面反射与面内掠入射................................................................................16 第三章GaN异质外延膜应变分析及电学性能研究..................................................173.1 引言.......................................................................................................................173.2 实验样品简介................................................................