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用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析-光学精密工程.pdfVIP

用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析-光学精密工程.pdf

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    第卷第期光学精密工程年月文章编号用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析沈晨谭鑫朱继伟张伟齐向东中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春中国科学院大学北京摘要制作高闪耀角一致性的曲面闪耀光栅需要工作台能够进行曲线拟合运动因此针对曲面闪耀光栅离子束刻蚀机三维工作台的控制算法开展研究首先介绍了曲面闪耀光栅离子束刻蚀机三维工作台的原理方案接着根据曲面刻蚀机的实际使用要求给出了工作台运动轨迹的理论计算方法然后提出了一种适用于工作台的圆弧拟合算法实现了工作台所需的曲线拟合运动最后在多组工作参数

    第 卷 第 期 光学精密工程 棽椂 暋 棾 暋暋 斨旓旍棶棽椂暋斘旓棶棾 暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋 暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椄 棾 暋 暋

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