基于MEMS的飞行器主动流动控制灵巧蒙皮技术.ppt

* 针对微纳米和微系统技术领域的检测技术 * MEMS/NEMS LAB 微/纳米系统实验室 微/纳米系统实验室 MEMS/NEMS LAB 研究生课程：微纳米检测技术 机电学院 西北工业大学 邓进军 李晓莹 教材与参考书目 教材： 《微纳米测量技术》，王伯雄等编著，清华大学出版社，2006 参考书目： 《纳米科学与技术》，袁哲俊编著，哈尔滨工业大学出版社，2005 《微机电系统设计与制造》，莫锦秋等编著，化学工业出版社，2004 《微系统原理与技术》，傅建中等编著，机械工业出版社，2005 《检测技术与系统》，陈岭丽主编，清华大学出版社，2005 《传感器与测试技术》，李晓莹主编，高等教育出版社，2004 《机电工程智能检测技术与系统》，朱名铨等编著，高等教育出版社，2002 第一讲 绪论 微纳米尺度 微米：1μm ＝ 10-6m 纳米：1nm ＝ 10-9m 概述 微纳米技术 21世纪最重要的科学技术之一；将引起一场新的工业革命。 微纳米检测技术是微纳米技术的重要组成部分 微纳米技术－研究微观尺度的物体和现象； 微纳米检测技术也主要指微米和纳米尺度和精度的检测技术。 1.1 测量和测量系统 测量： 测量提供了有关物理变量和过程的现实状态的定量信息。 测量是对客观世界重新认识的工具，也是对任何理论和设计的最终检验。 测量是一切研究、设计和开发的基础，它的作用在工程中十分显著。 测量系统 由敏感元件（传感器）、信号转换和调理、信号记录和显示等部分组成。 几个概念 测量(measurement):以确定被测对象的量值为目的的全部操作。 计量(Metrology):与标准进行比较和衡量 or 实现测量单位统一和量值准确传递。 测试(test):试验性质的测量 or 测量和试验的综合。 在实际使用中往往不严格区分测试与测量 检测(detection):获取被测对象的真实信息（从客观事务中取得有关信息的过程）。检测是意义更为广泛的测量。检测＝测量+信号检出。 1.2 微纳米技术 什么叫微纳米技术 通过在微纳米尺度范围内对物质的控制来创造并使用新的材料、装置和系统。 微纳米材料 微纳米装置（器件） 微纳米系统 1999年12月，美国国家科学技术委员会在“微纳米技术研究指南”工作报告中指出：“微纳米科学和工程将在未来的10～20年内成为一种战略性、占主导地位的技术，因为对微尺度物质的控制将支持工业、经济、健康和环境管理、生活质量以及国防等方面的发明和进步”。报告结论是：“微纳米技术将导致下一次工业革命。” 德国将微纳米技术和微系统技术列入国家高科技重点发展领域。 1.2 微纳米技术 我国从20世纪80年代末开始从事微纳米技术的研究。 2001年，政府制定《国家纳米科技发展纲要》； 目前：国家科技部“863计划”专门设立有微纳米技术专项，国家自然科学基金也设立有关微纳米技术重大科研基金项目。 1.3 微机电系统技术 微机电系统（Micro-electro-mechanical system, MEMS）技术，微系统技术 起源于微电子技术； 将传感器、信号处理器和执行器以微型化的结构形式集成为一个完整的系统。 微机械在美国常被称作微型机电系统（micro electro mechanical system, MEMS)； 在日本被称作微机器（micromachine)； 欧洲则被称作微系统（microsystem)； 不同的名称表明强调不同的技术重点。 1.3 微机电系统技术 1、MEMS的形成基础 机械电子学——机械学、电子学、计算机技术交叉 MEMS——机/电/磁 /光/声/热/液/气/生/化等多学科交叉 学科交叉的产物 与机械电子学的关系 基本组成相同 不是简单的提升 1.3 微机电系统技术 2、MEMS的特点 MEMS的特点 以实现新功能、特殊性能为前沿目标 微米量级空间里实现机电功能，提升已有性能（包括微型化、集成化、高可靠性等） 采用微加工，形成类似IC的批量制造、低成本、低消耗特征 MEMS的内涵 “微” ——尺度效应的作用 “机电”——拓展向更多物理量的融合 “系统”——水平、实际应用现状 1.3 微机电系统技术 3、MEMS的发展 硅微传感器阶段 1963年日本丰田研究中心制作出硅微压力传感器。 1982年美国IBM和UCBerkeley研制了集成电容式加速度计。 硅微致动器阶段 1987年UCBerkeley研制出转子直径为60~120?m的硅微静电电机。 传感器市场化阶段 1993年美国Analog Devices开始生产集成加速度传感器，开始在汽车行业大量应用。 系统研究阶段 20世纪90年代末，开始微型飞行器