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;Outlines;半导体晶圆制造所使用的气体——概要;半导体晶圆制造所使用的气体——种类与用途; 半导体制造业所使用的特种气体一般按其使用时的特性 ，可分为五大类：;（3） 腐蚀性气体（Corrosive Gas） 这些腐蚀性气体通常同时也兼有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇到水的 环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl, HF, PCl3,SiF4,ClF3，WF6 等。;Outlines;N2PEOX2K;FHDP24-6500;10;11;Outlines;特气传输与控制——气罐; 钢瓶硅烷 ; ; Valve Manifold Box Valve Manifold Panel; 气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。 管件与管件间的连接最好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用氩弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的氩气，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。 管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal faceseal）的方式进行。 一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok 两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。 一般情况下，VCR 式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于1 0 - 9c c 的氦气泄漏率（Leakage Rate）[4]。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。 Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA 等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR 式接头。 总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。 ;18;特气传输与控制——气体管路材质;特气传输与控制——大宗气体管路配置; 一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体外泄进入到工作环境中。 一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路。 第二个是持续不断的排气抽风系统（E x h a u s t ），管路节点如气瓶柜、V M B 、工作台等均具有很强排气抽风系统，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏，排气抽风系统将第一时间抽出。 另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。 因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。; 对于A s H 3、P H 3、B 2H 6、S i H 4 等剧毒气体的传输，需要采用同轴式管件。这种管件是由两根大小不同的管件组成，里面的一条是用来传输有毒或易爆气体的主要管路。外管则作为内管的保护管路，并且内外管之间抽成真空负压状态。假如内管因为某种因素破裂时，外泄的有毒气体会??致内外管的压力上升并触发相应的报警，从而确保气体管路外泄能得到及时有效的处理。; 1.送气前准备 钢瓶到VMB,以及VBM到设备final valve氦检（腔体和管道1.0×10E- 8mbar/ls,mfc 2.0×10E-9 mbar/ls）和保压(80PSI 24小时无漏)符合要求； SIH4,SIF4,PH3,NH3,N2O,NF4,C2F6等气体已用GN2 purge 5 times;并 且这7种气体管道已抽负压； Scrubber standby; Dry pump standby; 2.送气流程（特气吹扫管道一次） （1） 送气开始前确认gasbox和vmb所有阀处于关闭状态； （2） 开钢瓶气阀，持探测仪检漏；