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超精密切削加工技术 超精密切削机床 目前超精密切削的最高加工精度是在纳米机床上完成的。 工业生产已能实现10～100nm切削加工精度，1nm的加工精度也已在实验室实现。 超精密切削机床的精度实现主要依赖于解决如下几个问题： ①运动零部件的运动精度 这是直接影响加工精度的重要因素。但目前对影响精度未能进行定量分析，原因在于＜10nm的运动精度计量技术尚未通用化。 采用高精度静压空气轴承，可使径向振摆在50nm左右，轴、轴承的圆度、直线度误差使回转振摆达到几十纳米，因此需要检测控制和误差补偿技术。目前可获得10nm的回转精度和直线精度，振摆重复性减少到2nm。 ②承力结构的刚性 加工过程中，大负荷将产生大位移，其重复性很高。 提高刚性可显著减少变形误差。 现有机床零部件可达到100N／μm的刚性，满足超精密加工的一般要求。 另外对于有规律的可重复的变形误差，可通过检测机床负荷和变形量使之通过补偿，减到最小，此时，检测、控制和分辨率决定精度界限的高低。 微观刚性问题 超精密切削的刀具切削刃作用在工件材料的一个微小区域，这个微小区域可以是一个晶粒、一个位错区，一层原子。 随着刀具的相对移动，如果材料的组织、性能发生变化，作用微区的切削力就会发生变化，由此引起变形的改变，影响加工质量和稳定性，这就是超精密切削的微观刚度问题。 如果切削过程接触变形的微观重复性及其动态特征规律清楚，则可通过提升机床敏感方向的微观刚性、对工件材料提出更高要求和工艺设计解决。 ③机床的热变形 理论上提高温度的控制精度就能减少热变形量。控制精度达到1mk，热变形就可控制在1～10nm／m之间。 超精密切削机床结构采用铟钢、某种玻璃、陶瓷等热膨胀系数较低（10－6～10－7／K）材料，能有效减少自身的热变形量。床身可采用花岗岩材料。 机床（包括刀具）与工件的热变形之间存在着某种关系，也会对加工精度的界限产生重要的影响。 尽管在整体上要求控制温度到一定的精度，但在不同部分和不同阶段总会有差别的，因此需要进行热补偿，通过机床调整和软件控制其影响。 ④定位精度 机床的定位精度取决于检测、控制、运动等环节的最低分辨率。提高重复精度及其分辨率常用如下几种方法： 借助油膜或气膜移动的机械元件的位置重复性很高； 重复性极高的弹性交形定位机构，具有nm或nm以下的分辨率； 微动机构压电元件：所加每伏电压产生几十纳米的位移，由电压控制达到的分辨率可方便实现0.1nm的控制。但要解决其滞后问题。 公称切削厚度与有效切削厚度 超精密切削要求切削厚度很小，由机床控制的名义切削厚度为公称切削厚度，实际切除的材料厚度为有效厚度。 按照精密切削的复映性理论，有效厚度达到的量级就是加工精度能够达到的精度。通常通过减少公称厚度控制有效切削厚度来提高加工精度。 但有效厚度减少到一定程度时，切削过程出现不不稳定状态，难以实现正确切削。因此最小有效切削厚度决定几何加工精度的控制极限。 刀具锋锐性 刀具锋锐性主要取决于刃口钝圆半径，刃口钝圆半径越小刀具越锋锐，有效切削厚度就越小，对加工表面变质层和毛刺的影响也会减少。精密刀具刃口钝圆半径可达到20nm以下。而金刚石刀具刃口圆角半径可达2～4nm，切削厚度可达1nm。 如果复映正常，刃口粗糙度将决定表面粗糙度的极限。研磨金刚石刀具表面达到nm级并不困难，使切削可达到nm级的表面质量。 材料亲和性与热稳定性 加工材料与刀具材料之间的相互作用特性主要是亲和性，直接影响微切削加工表面的形成和刀刃微观磨损。 如高速钢刀具切削铝及铜系合金极易产生积屑瘤（BUE），积屑瘤高度大小和变化规律直接影响超精密切削过程的复映性。 金刚石和切削材料的热化学特性决定刀具的主要磨损机理，但在实际当中，监视和控制都十分困难。 材料热特性对动态变形一致性的影响 刀具切削部位的动态弹性变形要一致，否则会产生基于材料杂质和晶界的表面阶梯。 材料较好的热稳定性和进行适当的热处理，将使之均匀化，阶梯平均化，获得光滑的加工表面。 加工环境与边缘技术是不可忽视的间接因素 ①环境温度 环境温度影响加工精度有两个方面，一是温度的高低，二是温度场的均匀性。 机床自身局部发热的原因是轴承及运动部分的摩擦与润滑，有一个热平衡过程。 人体及其运动，室内空气的对流都会引起环境发生0.001K的温差变化。照明灯辐射到花岗石底座，黑白点材料之间亦有0.1K的差别。 加工环境与边缘技术是不可忽视的间接因素 ②振动 电机转子与定子间的磁力不均、联接器因准直误差和回转振摆等都会产生振动问题。 为此需要改善各机械零部件和工艺系统的动态特性，采用力偶传递动力，如精密摸床上的双销鸡心夹头。 加工环境与边缘技术是不可忽视的间接因素 ③变形 对薄件、轻件用真空吸盘、胶粘安装和夹紧，以减少回弹和残余变形。 工件自重和气压也会