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4-第四讲--薄膜材料物理--第二章薄膜力学性质
第四讲 第二章 薄膜的力学性质 第二章 薄膜的力学性质(续) 第四讲 §2.4 内应力的测试方法 1、悬臂梁法 测量时常用基片—云母片、玻璃片 尺寸：15×2 ×0.05~65 ×10 ×0.15mm3 测量方法：目镜直视法、各种光学法、电感法、电容法、 机电法等，其中电容法的灵敏度最高。 薄膜内应力： 2、弯盘法 采用圆形基片，分别测量出在淀积薄膜前后的基片的曲率半径R1和R2，则薄膜单位宽度的应力为： 基片：玻璃、石英、单晶硅 尺寸：0.13×Ф18-0.22×Ф30，光学抛光 测量方法：牛顿环法(常用)、x射线衍射法、光纤法等。 3、 x射线衍射法 测试前，用标准的硅单晶样品→标定装置误差。 薄膜厚度＞30nm,观测衍射峰最大值所对应的布拉格（Bragg）角Θ，并比较薄膜的Θ和块状的Θ角。 §2.5 薄膜的机械强度 分为抗张强度、耐压强度（用硬度表示） 薄膜常开裂→薄膜的断裂是它的应力→应变曲线的终点→抗张强度与应力—应变关系紧密。 2.5.1 薄膜的应力—应变曲线 块材：先线性弹性阶段→非线性弹性阶段 →塑性变形 薄膜：有可能发生蠕变，因为薄膜内的缺陷较多，受到内部弹性能的活化而发生了一些变化。 →与块材不同 2.5.2 薄膜的抗张强度 薄膜的断裂机理：在薄膜的内部局限区域中发生塑 性变形，导致在该处变薄，结果这个区域中内 应力增大，出 现小的裂纹，最后发生断裂。 薄膜特点：缺陷较多，表面积与体积之比很大， 本身有内应力。 薄膜的屈服强度：
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