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第三章2 测量仪器精度分析
举例:立式光学计 *侧杆与导套的配合间隙Δ引起的误差; *立式光学仪的分划板不垂直光轴引起的误差。 立式光学仪的分划板不垂直光轴引起的误差 立式光学仪的分划板与光轴垂直面有θ的夹角,则相当于不同y(刻度值)处的焦距有误差Δf。 分划板不垂直光轴引起的误差 举例:螺旋测微机构 (P25例2—3) θ:螺旋传动机构的轴线与滑块运动方向有的夹角, 理想时θ=0,滑块的移动量: 其中: ---手轮转角, p---螺距。 由于θ的存在,使滑块的实际位移量为: L’=Lcosθ 因此θ为源误差,它引起的滑块的位置移动误差为ΔL 。则: 三、仪器误差的综合 误差综合:将局部误差合成为仪器总误差。 由于影响仪器误差的因素很多,各源误差的性质不同,综合的方法也不同。 1、系统误差 (1)已定系统误差 (2)未定系统误差 (1)已定系统误差 已定系统误差:符号和大小均为已知的误差Δi 。 误差综合方法:按代数和合成。 或 其中: 为误差传递系数,ei为Δi的局部误差。 (2)未定系统误差 未定系统误差:其大小、方向或变化规律未被确切掌握,只能估计出其极限范围,± 。 由于其取值具有一定的随机性,所以其合成方法常用: a. 方和根法: b. 绝对值法: 或 (t= ti ) 或 其中ti为单项误差的置信系数,t为合成后误差的置信系数。一般情况下,对于正态分布t=3(置信度为99.7%) 2、随机误差 由于随机误差比较繁多,且其随机性及分布规律又具有多样性(如正态分布、均匀分布、三角分布、反正弦分布),因此,随机误差合成时采用: (1)均方根法 (2)极限误差法 (1)均方根法 对于随机性局部误差(标准差)σi,其合成误差(标准差): ρij为σi与σj随机误差的相关系数,取值为(-1~1)。 若ρij=0,则σi与σj不相关, 合成随机误差的极限误差δ1=± tσ 。 (2)极限误差法 随机标准差σi,其极限误差 。 当标准差σi未知时,则合成极限误差: 当各项误差不相关时, 3、仪器总误差的合成 分为三种情况: (1)一台仪器,各源误差互相独立,且未定系统误差很少,则: (2)一台仪器,未定系统误差数较多,源误差互相独立,则: (3)一批同类仪器,未定系统误差的随机性增大,合成时将其按随机误差处理,则:(仪器设计时采用) 参考书 浦昭邦,王宝光.测控仪器设计.机械工业出版社,2001(P39-52) 王智宏. 精密仪器设计. 吉林大学(校内讲义),2008(P10-28) 再见! 又称理论/方法/设计误差 产生原因:由于理论不完善或者采取近似理论而产生的,它与制造精度无关,是由设计决定的。仪器采取何种方案,进行何种近似处理,便会产生何种原理误差。 属性:原理误差多属系统误差,在设计时可采用增加调整或补偿环节的方法减少或消除原理误差。 * 带有刻度尺的透明玻璃分划板位于物镜的焦平面。光源照亮分划板,其上各点发出的光线经物镜成平行光,到反射镜后被反射,仍为平行光,经物镜后在其焦平面上成像。 S=±100μm,a=2mm,Δs=0.25μm. 设计时要注意结构的合理性,要注意基面统一以及使测量链最短等。 除了在制造过程中提高加工精度和装配精度外,在设计时也应采取适当的措施对其进行控制,如: 原则:基面统一以及使测量链最短 ⒈ 分划板:刻尺的分划误差,位置不垂直光轴,安装不在物镜的焦距上; ⒉ 物镜:畸变、物镜焦距误差Δf ; ⒊测杆:与导套之间的配合间隙 ⒋杠杆:臂长在安装时≠a ⒈ 分划板上刻尺的分划误差Δ1所引起的局部误差e1 ; ⒉ 物镜的畸变Δy所引起的局部误差e2 ; ⒊ 物镜焦距误差Δf所引起的局部误差e3 ; ⒋ 测杆与导套之间的配合间隙所引起的误差e4 ; 5.其他:如分划板的位置不垂直光轴,不在物镜的焦距上,杠杆臂长在安装时≠a。 * * 温度变化,使仪器的零部件尺寸、形状、相互位置及一些重要的特性参数(电器参数)发生变化,从而影响仪器精度。 如光学计使用时,∵是相对测量,则由温度变化引起量块和测件在长度上有变化,使测量结果与实际有误差(且不计温度引起的其他零部件的误差)。一般测量环境的标准温度为t0(=20℃~25℃),实际环境温度为t,量块线膨胀系数为a0,则温度引起的量块的误差为 (L为量块长度)。 由于被测件与量块在温度(t1)和材料(a1)上的不同, ∴温度引起的被测件的长度变化与Δ1不同,设为Δ2,则: ∵由温度引起的测量误差应为 Δ1、Δ2二项随机误差合成。 仪
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