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走査電子顕微鏡技術一般 山形大学工学部 技術部 四釜繁 走査電子顕微鏡は非常に身近な機器であり、単純な観察なら、透過電子顕微 鏡の場合のような試料処理が必要でなく、簡単に高倍率な観察ができる。 筆者も２０年以上前から利用しているが、鮮明かつ高分解能な二次電子像を 得るにはある程度の知識と操作技術が必要である。単に高倍率な写真と高分解 能な写真とは区別しなければならない。 図１ 綿繊維表面の二次電子像 筆者は、高分解能な二次電子像を得る技術は勿論、非常にコントラストの得 難い試料の観察技術や試料エッチング技術などに興味をもってきた。その成果 は「四釜繁著、走査電子顕微鏡とＸ線マイクロアナライザーの利用技術、山形 大学工学部電顕分析室」（全240ページ）に纏めている。 １ コントラストのでない試料の観察 色々な試料を見ていると、どうも観察しにくい、どうも像質が悪い、という 試料に出会うことがある。カーボン試料やアルミ試料などの軽元素試料も、高 倍率にすると観察しにくい。これらの試料は、二次電子の放出率や入射電子線 の試料内散乱領域との関連で、コントラストが出ず