最新磁电式传感器霍尔传感器专题教学课件PPT.ppt

第六章 磁敏传感器 ;霍尔传感器 Hall Sensor;霍尔式传感器 ; 霍尔式传感器是基于霍尔效应而将被测量转换成电动势输出的一种传感器。霍尔器件是一种磁敏传感器，利用半导体元件对磁场敏感的特性来实现磁电转换，它们可以检测磁场及其变化，可在各种与磁场有关的场合中使用。 按照霍尔器件的功能可将它们分为：霍尔线性器件和霍尔开关器件，前者输出模拟量，后者输出数字量。 霍尔器件具有许多优点，它们的结构牢固，体积小，重量轻，寿命长，安装方便，功耗小，频率高(可达1?MHz)，耐振动，不怕灰尘、油污、水汽及盐雾等的污染或腐蚀。 霍尔线性器件的精度高、线性度好；霍尔开关器件无触点、无磨损、输出波形清晰、无抖动、无回跳、位置重复精度高。采用了各种补偿和保护措施的霍尔器件的工作温度范围宽，可达-55～+150℃。;霍尔传感器的工作原理;当有图示方向磁场B作用时;霍尔效应演示;一、 霍尔效应;所以，霍尔电压UH可表示为 UH = EH b = vBb;流过霍尔元件的电流为 I = dQ / dt =-bdvnq 得： v = -I / nqbd;设;材料中电子在电场作用下运动速度的大小常用载流子迁移率来表征，即在单位电场强度作用下，载流子的平均速度值。即;结论：① 如果是P型半导体，其载流子是空穴，若空穴浓度为p，同理可得;④ 霍尔电压UH与控制电流及磁场强度有关。;可以推出，霍尔电动势UH的大小为： ;2．霍尔元件;二、霍尔元件材料; 霍尔元件的构造及测量电路;一、构 造; 霍尔片是一块半导体单晶薄片(一般为4mm×2mm×0.1mm)，它的长度方向两端面上焊有a、b两根引线，通常用红色导线，其焊接处称为控制电极；在它的另两侧端面的中间以点的形式对称地焊有c、d两根霍尔输出引线，通常用绿色导线，其焊接处称为霍尔电极。; 2) 霍尔元件的材料 锗(Ge)、硅(Si)、锑化铟(InSb)、砷化铟(InAs)和砷化镓(GaAs)是常见的制作霍尔元件的几种半导体材料。表6-2所列为制作霍尔元件的几种半导体材料主要参数。;6.2.3 霍尔元件的技术参数; 3.不等位电势U0及零位电阻r0 在额定控制电流I下，不加磁场时霍尔电极 间的空载霍尔电势。 当霍尔元???的激励电流为I时, 若元件所处位置磁感应强度为零, 则它的霍尔电势应该为零, 但实际不为零。 这时测得的空载霍尔电势称不等位电势。;产生的原因有: ① 霍尔电极安装位置不对称或不在同一等电位面上; ② 半导体材料不均匀造成了电阻率不均匀或是几何尺寸不均匀（如片厚薄不均匀等）; ③ 激励电极接触不良造成激励电流不均匀分布等。 这些工艺上问题都将使等位面歪斜，致使两霍尔电极不在同一等位面上而产生不等位电势。 ; 4、寄生直流电势 当不加外磁场，控制电流改用额定交流电流时，霍尔电极间的空载电势为直流与交流电势之和。其中的交流霍尔电势与前述零位电势相对应，而直流霍尔电势是个寄生量，称为寄生直流电势V。 5、热阻RQ 它表示在霍尔电极开路情况下，在霍尔元件上输入lmW的电功率时产生的温升，单位为0C／mW。所以称它为热阻是因为这个温升的大小在一定条件下与电阻有关.;6.灵敏度;霍尔元件的主要技术参数;霍尔片基本测量电路图如下所示。;二、测量电路;图5-22 霍尔元件的基本测量电路;（a）基本测量电路;霍尔元件的转换效率较低，实际应用中，可将几个霍尔元件的输出串联或采用运算放大器放大，以获得较大的UH。;不等位电动势产生的原因是由于制造工艺不可能保证将两个霍尔电极对称地焊在霍尔片的两侧，致使两电极点不能完全位于同一等位面上。 ;此外,霍尔片电阻率不均匀，或片厚薄不均匀，或控制电流极接触不良都将使等位面歪斜，如图所示，致使两霍尔电极不在同一等位面上而产生不等位电动势。; 3) 感应零电动势 感应零电动势是在未通电流的情况下，由于脉动或交变磁场的作用，在输出端产生的电动势。根据电磁感应定律，感应电动势的大小与霍尔元件输出电极引线构成的感应面积成正比，如图所示。;在上述的4种零位误差中，寄生直流电动势、感应零电动势以及自激场零电动势，是由于制作工艺上的原因而造成的误差，可以通过工艺水平的提高加以解决。而不等位电动势所造成的零位误差，则必须通过补偿电路给予克服。;霍尔元件补偿电路;图 不等位电势的补偿电路;;将温度每变化1℃时，霍尔元件输入电阻或输出电阻的相对变化率Ri/Ro称为内阻温度系数，用 表示。 ;几种温度误差的补偿方法 1) 采用恒压源和输入回路串联电阻 ;