第八章硬质膜课件.ppt

早期弧镀 比较TiN和CrN 硬度 磨损 TiN CrN TiN CrN 纳米CrN+TiN和CrN,TiN 硬度和热稳定性比较 CrN和Cu间摩擦系数低 有特殊优越性 对铜 CrN和TiN显 示很大差别 TiN的耐磨性 不如工具钢 钢 钢 CrN CrN TiN TiN TiN、TiCN、CrN和 WC/C镀层的性能比较 Cr9Al1N Cr3Al1N 高铝有助抗氧化 外径95mm推力轴承和GCr15滚柱或镀ZrN止推板在油循环冷却下对磨。 TiAlN虽然硬度高，但和ZrC相似，结合力均低，在80kN压力下易于剥落，故寿命低，尚不及未镀的GCr15。 CrAlN各项性能均处于中等地位，表现出好的抗磨性。 WC/C镀层因摩擦系数低，虽然结合力不高，也有很高的抗磨性。 Wear 253 (2002) Wear resistance of PVD-coatings in roller bearings Aachen GCr15钢不同镀层磨损 GCr15的原始水平 Cr加入TiAlN明显地增加抗氧化性 CrTiAlN和TiAlN有相似的结合强度 CrTiAlN和TiAlN的比较 M35含钴高速钢 6.8mm钻头 1800rpm(38.5/min) 进给0.28mm/rev 无冷却，灰铁 未镀 TiAlN TiAlCrN Cr50% 干钻灰铁CrTiAlN比TiAlN好 CrTiAlN，CrN，TiAlN的压入试验 洛氏硬度150公斤 CrN CrTiAlN TiAlN Teer UDP获得结果 CrTiAlN性能 硬度：30GPa 结合力：60N 5mmWC球，40N加载，200mm/s,1小时无明显磨损 与TiN比，CrTiAlN钻孔数可多1倍左右 CrTiAlN Workpiece Material: Plain Carbon Steel (EN9) ~190 HV Tool: Tungsten Carbide Drills (6.4 mm ?) Coating Number of Holes CrTiAlN 328 Uncoated 7 3185rpm (64m/min) 0.30mm/rev lubricated: 7.5% oil concentrated water based coolant Holes: Through (19mm deep) Drilling Performance CrTiAlN Workpiece Material: Alloy Steel EN24 ~363HV Tool: High Speed Steel (1/4” ? drills) Holes: Through (12.6 mm deep) 2440rpm (48.7m/min) 0.11mm/rev 268mm/min lubrication: 7.5% oil concentrated water based coolant Coating Number of Holes CrTiAlN 232 Uncoated 0 Drilling Performance CrAlTiN Cr/Ti在相当宽范围 内稳定的硬度、结合力 PoD, 5 mm ? WC/Co ball, 200 mms-1 CrTiAlN Cr/Ti在相当宽范围 内稳定摩擦磨损性能 Drilling Speed:4050 rpm, (equivalent to 80m/min) Feed: 945mm/min Conditions: Through hole, 20mm Coolant: Cimstar MB603, 5%, Drill test Samples One fold Two fold Three fold Cr Al Ti Cr ? Coating Deposition - CFUMSIP - 1 Ti, 1 Al, 2 Cr - Ar - N2 OEM control loop Deposition Process CrTiAlN 多层膜 复合的方法除多元外可形成多层，层厚可降至纳米，成为纳米调幅结构。 TiN/NbN多层 5nm HSS 1000 - 常见薄膜和基体材料的硬度比较 不同类型硬