- 1、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
电容式微机械体声波硅谐振器研制-微电子学与固体电子学专业论文.pdf
????ゴ ??1RF MEMS ??? 1MEMS ?????? 21.3 ??? MEMS ???????お?? 31.3.1 ???お??..............................................................................................31.3.2 ???お??..............................................................................................81.4 ?????? 9????......................................................................................................................10??ゴ ????????????? 122.1 ????????????? 122.2 ????????? 132.3 ?????????? 142.3.1 ?????................................................................................................142.3.2 ????.....................................................................................................162.4 ?????????? 192.4.1 ??乥? f0 192.4.2 ???? Q 222.4.3 ???? Rm 26????......................................................................................................................30??ゴ ??????????????? 323.1 ???????????? 323.2 ?????????? 333.3 ??Ё????? 363.3.1 DRIE ????? 363.3.2 ???????????? 373.3.3 ????????? 43????......................................................................................................................46??ゴ ?????????????? 474.1 ?????????? 474.1.1 ?ッ???ッ?????? 474.1.2 作??? Cop ??? S21 ??? 514.1.3 Q ? S21 ??? 534.2 ??????? 534.3 ?????乍????偠?偠 56????......................................................................................................................58??ゴ ??????? 595.1 ????................................................................................................................595.2 ????................................................................................................................59????????????? 61??......................................................................................................................................62??ゴ ??RF MEMS ???RF(Radio Frequency????乥)????乥???????催乥??????? ?????? RF MEMS???? MEMS ????? RF ??????乥??Ё? MEMS ?????????乥?Ё乥?催乥?????????????乥??? ????????????????
您可能关注的文档
- 地面三维激光扫描数据分割方法分析-摄影测量与遥感专业论文.pdf.docx
- 地下车库排风量的计算和污染物扩散过程模拟-供热、供燃气、通风及空调工程专业论文.pdf.docx
- 地下磁导航系统-测试计量技术及仪器专业论文.pdf.docx
- 地下工程沿空巷道隔离煤墙矿压分析-岩土工程专业论文.pdf.docx
- 地下管线三维建模和可视化-大地测量学与测量工程专业论文.pdf.docx
- 地下管线探测与测量数据入库-测绘工程专业论文.pdf.docx
- 地下商业建筑入口空间设计研究-建筑设计及理论专业论文.pdf.docx
- 地下磁导航系统磁源设计-测试计量技术及仪器专业论文.pdf.docx
- 地下隧道在sh波作用下动力响应解析解-建筑与土木工程专业论文.pdf.docx
- 地下变形三维测量磁环传感方法及传感器-检测技术与自动化装置专业论文.pdf.docx
- 电容式微机械陀螺外围接口电路设计与测试-测试计量技术及仪器专业论文.pdf.docx
- 电视婚恋交友类节目发展策略-新闻学专业论文.pdf.docx
- 电凝热效应对三叉神经根的影响-外科学(神经外科)专业论文.pdf.docx
- 电视栏目名称的文化语言学分析-汉语言文字学专业论文.pdf.docx
- 电视广告对儿童道德影响论析-教育学原理专业论文.pdf.docx
- 电塑性效应对dp980高强钢应力松弛与弯曲回弹性能的影响-材料科学与工程专业论文.pdf.docx
- 电台功放模块自动测试系统研制-检测技术与自动化装置专业论文.pdf.docx
- 电梯供应链系统信息化设计和实现-软件工程专业论文.pdf.docx
- 电梯人体感应安全保护装置-仪器仪表工程专业论文.pdf.docx
- 电梯无线应急通信系统软件开发-通信与信息系统专业论文.pdf.docx
最近下载
- 中考英语三轮冲刺挑战满分练习01 阅读选择一:人与自我(中考真题精选)(含解析).doc VIP
- JB391585《液压机安全技术条件》.pdf
- Starter Unit 1 Hello! (Section A )分层作业同步卷(含答案)2024版.docx VIP
- 第16课 早期殖民掠夺(核心素养精品课件).pptx VIP
- 农村土地承包经营权调查规程.doc VIP
- T-CAGHP 020-2018地质灾害治理工程施工组织设计规范(试行).docx VIP
- 2024年版食品安全监督抽检实施细则理论考试试题及答案 .pdf VIP
- 龙门吊安装与拆除专项施工方案.doc VIP
- T_CHIA 54.1-2025 颈椎病专病电子病历标准数据集 第 1 部分:入院记录.docx VIP
- 05g359-3单轨吊_标准图集.pdf VIP
文档评论(0)