水热法制备钛酸锶钡铁电薄膜的研究.pdf

水热法制备钛酸锶钡铁电薄膜的研究 摘要 良的热敏材料、电容器材料和铁电压电材料，具有高介电常数、低介电损耗、 居里温度随组成改变以及介电常数随电场的非线性变化等特点，在超大规模 动态存储器、微波调谐器等领域具有广阔的应用前景，成为集成器件领域最 广泛研究的材料之一。 本文采用水热技术合成了BST粉体，并结合溶胶．凝胶技术在普通的单 显微镜(AFM)、等技术手段对BST制备工艺中水热反应机理、水热结晶行 为、物相组成、BST薄膜晶粒的形貌特征进行了较为系统的研究，详细讨论 了前驱体膜热处理温度、水热处理温度、水热反应时间、矿化剂浓度等水热 处理工艺对单晶硅(111)片上BST铁电薄膜显微结构及其晶化行为的影响。 体颗粒较细，均匀，呈四方相钙钛矿结构。各向异性，粒径在20nm～40nm 之间。 结合水热合成技术，采用了两步法水热处理前驱体膜的实验思想制备BST 铁电薄膜。 关键词：钛酸锶钡，粉体，薄膜，溶胶．凝胶法，水热处理，晶化 oFBAIUUM PREPARATIoNSTRoNTIUM TITANATEFERRoELECTRICTHIN FILMSBYHYDROTHERMAL ABSTRACT Bariumstrontium thesolidsolutionof and BaTi03 titanate(BaxSrl《Ti03)iS it all wecallBSTforconvenience．ItiS ferroelectric SrTi03，usually important materialheat characterdielectricconstant、 and is material，whosehigh capacity lowdielectric indifferent and wastage、Curietemperaturemoving composition at dielectricconstant with oftheelectricfieldthesametime varyingnonlinearity such ete．ItiS usedin fields as memorizer、 widely many large—scaledynamic coordination nowhas themost micro．wave been studied apparatus。which widely materialin instrumentfields． integration Inthis were their p