异质衬底锗薄膜的制备-动力工程及工程热物理和电气工程及其自动化;可再生能源与清洁能源专业论文.docx

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异质衬底锗薄膜的制备-动力工程及工程热物理和电气工程及其自动化;可再生能源与清洁能源专业论文

Classified Index:TM9 1 4.4 U.D.C:620Thesis for the Master Degree一‘n●’‘一一●Preparation ol germanium thin films 0n heterogene0USsubstratesCandidate:Mu XiaoyeSupervisor:Prof.Chen NuofuAcademic Degree Applied for:Master of EngineeringSpeciality:Renewable Energy and Clean EnergySchool:School of Renewable EnergyDate of Defence:March,2016Degree-Conferring-Institution:North China Electric Power University万方数据华北电力大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明:此处所提交的硕士学位论文《异质衬底锗薄膜的制备》 ,是本 人在导师指导下,在华北电力大学攻读硕士学位期间独立进行研究工作所取得的成 果。据本人所知,论文中除己注明部分外不包含他人己发表或撰写过的研究成果。 对本文的研究工作做出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式注明。本声 明的法律结果将完全由本人承担。作者签名: 纶漕旁日期:撕多月,中日华北电力大学硕士学位论文使用授权书《异质衬底锗薄膜的制备》系本人在华北电力大学攻读硕士学位期间在导师 指导下完成的硕士学位论文。本论文的研究成果归华北电力大学所有,本论文的研 究内容不得以其它单位的名义发表。本人完全了解华北电力大学关于保存、使用学 位论文的规定,同意学校保留并向有关部门送交论文的复印件和电子版本,允许论 文被查阅和借阅,学校可以为存在馆际合作关系的兄弟高校用户提供文献传递服务 和交换服务。本人授权华北电力大学,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论 文,可以公布论文的全部或部分内容。本学位论文属于(请在以上相应方框内打“√”): 保密口,在年解密后适用本授权书 不保密团作者签名:日期:≯们占年孑月/侈日导师签名:日期:加,占年多月,够日万方数据华北电力大学硕士学位论文摘要随着传统化石能源问题的日益突出,发展和利用可再生能源,尤其是利用太阳 电池获得电力,已经成为当今世界经济发展的必然选择。目前,太阳电池中效率最 高的是III.V族多结太阳电池,一般选择锗单晶作为衬底,但是由于锗是典型的稀 散金属,价格昂贵。为了节省锗材料,降低成本,考虑在异质衬底上制备锗薄膜代 替锗单晶作为多结太阳电池的衬底材料。因此,本文的研究内容主要是在石墨衬底 和单晶硅衬底上制备位错密度小、晶体质量完美的锗薄膜。本文首先利用射频磁控溅射技术和快速热退火(RapidThermalAnnealing,RTA) 技术在石墨衬底上制备出了锗薄膜。接下来,根据石墨衬底锗薄膜的实验结果,在 单晶硅衬底上通过引入石墨过渡层的方法制备出了锗薄膜。最后利用扫描电子显微 镜(Scanning Electron Microscope,SEM)、X射线衍射(X.Ray Di债action,XRD)和 台阶仪等测试手段进行了表征和分析。获得的主要成果为:(1)利用磁控溅射设备在石墨衬底上制备出了锗薄膜,研究了衬底温度对锗薄 膜微观结构的影响。XRD测试结果表明衬底温度对锗薄膜结晶化程度有很大的影 响,表现为衬底温度低于500℃时,沉积的锗薄膜为非晶态,说明500℃是石墨衬底 锗薄膜由非晶态晶化为多晶态的临界衬底温度。(2)对衬底温度为450℃的石墨衬底锗薄膜进行快速热退火处理,并研究了快 速热退火对锗薄膜微观结构的影响。发现快速热退火温度对锗薄膜的结晶质量有很 大的影响,即随着退火温度的升高,锗的各个衍射峰增强,其中对Ge(111)晶面 衍射峰强度影响最大,呈现Ge(111)晶面择优取向,并且900℃是最佳退火温度。(3)利用磁控溅射设备在单晶硅衬底上制备出了锗薄膜,其中,在单晶硅衬底 和锗薄膜之间引入了石墨过渡层,缓解了二者之间的晶格失配和热失配。SEM测试 结果表明锗薄膜/石墨/硅的多层膜结构厚度均匀、具有连续的结构。XRD测试结果 表明,450。C是单晶硅衬底锗薄膜晶化为多晶态的临界衬底温度。(4)对衬底温度为440℃的单晶硅衬底锗薄膜进行快速热退火处理,并研究了 快速热退火对锗薄膜微观结构的影响。XRD测试结果表明,退火温度升高至750℃ 时,锗薄膜RTA晶化程度明显提高。在退火温度为750℃的条件下最佳退火时间为 30 S,同时,900℃是最佳退火温度。关键词:锗薄膜;异质衬底;石墨;单晶硅;快速热退火万方数据华北电力大学硕士学位论文AbstractBecause of t

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