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第十一章晶体薄膜衍衬成象分析 概述 薄膜样品的制备 衍衬成象原理 相位衬度简介 11.1 概述 由与样品内结晶学性质有关的电子衍射特征所决定的衬度，称为衍射衬度 适用于薄晶样品的图象分析，主要用于晶体缺陷的分析 11.2 薄膜样品的制备 透射电镜对样品的要求 试样最大尺寸，直径不超过3mm； 样品厚度足够薄，使电子束可以通过，一般厚度为100－200nm； 样品不含水、易挥发性物质及酸碱等 腐蚀性物质； 样品具有足够的强度和稳定性； 清洁无污染 制样技术—薄膜 生物样品、高分子材料—超薄切片 金属样品—电解双喷减薄 陶瓷样品—离子减薄 11.3 衍衬成象原理 成象原理 三个参数 一、成象原理 成象原理—明场（BF）象 IA＝I0 IB＝I0－Ihkl A晶粒的象比较亮，B晶粒的象比较暗 成象原理—暗场（DF）象 IA＝0 IB＝Ihkl A晶粒的象比较暗，B晶粒的象比较亮 二、三个参数 描述试样对电子束强度变化的影响包括三个参数： 衍射晶面偏离矢量S 试样厚度t 消光距离?g 三个参数—衍射晶面偏离矢量S 它描述反射面偏离布拉格位置的情形，其大小取决于试样对入射束的取向以及试样内应变的大小，它决定着衍射束的强弱。 三个参数—试样厚度t 它决定着入射电子在试样中弹性散射的次数和非弹性散射几率，以及由此而来的衍射强弱 三个参数—消光距离?