有机电致发光显示器件的制备及性能研究.pdf

有机电致发光显示器件的制备及性能研究 摘要 有机电致发光显示器件(OLED)在上世纪末成为了平板显示领域一颗 耀眼的明星。它具有主动发光、宽视角、响应速度快、低驱动电压、高分 辨率、高亮度、优秀的色饱和度等一系列优点，在显示和照明等光电领域 具有诱人的前景。目前，国内外已经有大量的厂家、研究所以及高校投入 了大量的人力和物力对其进行开发和研究。然而，OLED也存在一些问题， 特别是在发光机理、稳定性和寿命等方面还需要进一步的研究。要达到这 些目标，除了材料外，器件的结构设计也十分重要。 文章首先探讨了作为阳极的ITO玻璃表面处理工艺和ITO玻璃的光刻 工艺。ITO表面的清洁程度严重影响着光刻质量和器件的最终性能；ITO 表面经过氧等离子处理后其表面功函数增大，明显提高了器件的发光亮度 和发光效率；在光刻工艺中，光刻胶的厚度是影响光刻质量的一个重要因 素，其厚度在1．2uIn左右时，光刻效果理想。 此外，文章研究了真空蒸镀Mg电极薄膜的特性，因为蒸镀过程直接 影响着Mg膜的微观结构和各项特性，而进一步调整优化Mg膜的微观结 构可以改善器件的各项性能。为了增加基底的表面张力，使得Mg原子更 好的附着，在沉积Mg膜之前，先对基底进行等离子处理；通过采用不同 的沉积速率沉积薄膜，发现金属镁难以形成良好的晶态膜；在不同的基底 上沉积镁膜后发现镁膜的生长存在择优取向的特性。最后；对镁膜进行热 处理发现，热处理不仅可以降低Mg膜的方块电阻以及其表面粗糙度，并 且明显提高了Mg膜的附着力。 本文进一步研究了阴极材料对器件性能的影响，实验发现镁银合金作 为阴极时，器件性能良好；采用LiF作为电子注入层后，器件的发光亮度 和发光效率有明显提高。其中，LiF和Mg／Ag的厚度存在最佳值，可以使 器件性能达到最优效果。 文章还对空穴注入层对器件性能的影响以及有机层Alq3和NPB的稳定 性进行了讨论。当CuPc作为空穴注入层时，其厚度在5～15nm之间有一 个最佳值，使得器件启亮电压和寿命之间存在最佳平衡，CuPc层厚度的改 变不影响器件的发光颜色；当2T-NaTa作为空穴注入层时，得到的器件性 能要优于CuPc作为空穴注入层时的器件性能。 本文研制了三层结构的小分子有机电致发光屏。采用真空蒸镀的方法 沉积有机薄膜和金属阴极薄膜，制备出以Alq3为发光层的绿色有机电致发 光器件，并在此基础上对器件的一些工艺参数和材料的性能进行了研究和 进一步优化，得到理想的发光屏。 关键词：有机电致发光，．真空沉积，电极，发光效率，发光亮度，镁膜 r“s PREPARATIONANDPERFoRMANCERESEARCH oFORGANICLIGHTEMITTINGDEⅥCE ABSTRACT OLEDhasbecomea starinthe fieldsincetheendof diSplay shining panel thelast exhibitsa andinsidious in century．Thistechnology bright prospect fieldduetoits ofactive photoelectricity advantages drive angle，lowvoltage，quickrespondspeed，highdistinguishratio，high havebeen researched蠹d brightuessetc．N。wadays，OLEDcommercially athomeand as abroad．However,some produce