新型低辐射薄膜tin的apcvd法制备及性能研究-材料学专业论文.docx

浙 江 大 学 硕 士 学 位 论 文。、，反 射 率 为，。综 上 所 述在 对 氮 化 钦 薄 膜 制 备 工 艺性 能 和 微 结 构 研 究 分 析 的 基 础 上结，，合 节 能 镀 膜 玻 璃 的 应 用 背 景初 步 探 讨 了州 薄 膜 作 为 新 型 低 辐 射 膜 的 可 能 性，，通 过 对 其 光 学 性 能 和 化 学 稳 定 性 分 析可 以 认 为 在 普 通 玻 璃 上 沉 积膜 后能，在 保 持 较 高 的 可 见 光 透 射 率 和 较 低 的 反 射 率 基 础 上提 高 玻 璃 的 低 辐 射 性 能具。、、、有 节 能 效 果关 键 词薄 膜红 外 反 射低 辐 射 镀 膜 玻 璃浙 江 大 学 硕 士 学 位 论 文，，，，，，，，，，，一，，，，，，，，，一，，，，，，，如’，，浙 江 大 学 硕 士 学 位 论 文，口 ，，，，，，户 产浙 江 大 学 硕 士 学 位 论 文目录摘 要… …… …目 录… …第 一 章 引 言… …第 二 章 研 究 背 景 及 现 状… …，，研 究 背 景… …… …… ……，，理 论 基 础… …… ……，低 辐 射 镀 膜 玻 璃 节 能 原 理… …… …，低 辐 射 镀 膜 玻 璃 节 能 性 能 表 征… …，… …… …低 辐 射 镀 膜 玻 璃 功 能 特 点… …，低 辐 射 镀 膜 玻 璃 的 研 究 背 景… …，… …… …低 辐 射 镀 膜 玻 璃 分 类… …，国 内 外 应 用 概 况 二，，…… …… …，低 辐 射 镀 膜 玻 璃 制 备 技 术… …，… …… …真 空 蒸 镀 法… …，，溅 射 镀 膜 法… …… …，… …… …电 浮 法 镀 膜… …一，溶 胶 凝 胶 法 …… …，喷 涂 镀 膜 法 …… …，化 学 气 相 沉 积 法… …… …，在 线法 镀 膜 技 术… …… …，，氮 化 钦 薄 膜 的 研 究 背 景… …… …… …，氮 化 钦 的 结 构… …… …薄 膜 的 电 学 性 质… …薄 膜 的 光 学 性 质… …，薄 膜 的 制 备 方 法法 和法… …，… …… …，选 题 角 度 的 确 定… …… …第 三 章 样 品 制 备 及 测 试… …浙 江 大 学 硕 士 学 位 论 文，试 样 制 备… …… …，装 置… …… …，原 料… …，… …… …，薄 膜 样 品 制 备 过 程…，… …… …薄 膜 分 析 与 测 试 方 法… …、，薄 膜 结 构成 分 和 形 貌 分 析… …，薄 膜 电 学 性 能 测 试… …… ……，，薄 膜 光 学 性 能 测 试… ………，薄 膜 厚 度 测 定… …… …第 四 章训 薄 膜 的 制 备 参 数 与 结 构 和 性 能 分 析… …，，，本 研 究 制 备 的 最 优薄 膜… … 二… …… …，薄 膜 的 结 构 和 形 貌 分 析… …… …甲薄 膜 成 分 分 析… …，薄 膜 的 光 谱 特 性 分 析… …… … 二，薄 膜 禁 带 宽 度 的 计 算… …… …，薄 膜 膜 面 颜 色… … 二制 备 参 数 对薄 膜 结 构 和 光 电 性 能 的 影 响… …，基 板 温 度 对 薄 膜 的 结 构 和 光 电 性 能 的 影 响… …… …，反 应 物 浓 度 对 薄 膜 结 构 和 光 电 性 能 的 影 响… …… …，反 应 时 间 对 薄 膜 结 构 和 光 电 性 能 的 影 响… …… …，薄 膜 的 成 膜 机 理… …薄 膜 作 为 低 辐 射 膜 的 应 用 前 景… …，，小 结… …… …，第 五 章 结 论… …… …… …参 考 文 献… …攻 读 硕 士 期 间 发 表 的 论 文… …，致谢… …… …浙 江 大 学 硕 士 学 位 论 文结音吉己二月，「二 二 刁，随 着 全 球 能 耗 的 日 益 增 加 和 科 技 的 快 速 发 展人 类 愈 加 意 识 到 节 约 能 源 的 重 要，。，性节 能 己 成 为 当 今 世 界 几 大 主 题 之 一占 能 耗 总 量 五 分 之 一 多 的 建 筑 能 耗 引 起，了 全 世 界 科 学 家 的 极 大 重 视而 建 筑 能 耗 的是 通 过 窗 户 散 失 的因 此 减 少 玻 璃。，「 窗 的 热 损 失 对 建 筑 节 能 具 有 非 常 重 要 的 意 义建 筑 能 耗 己 经 成 为 牵 动 我 国 社 会。经 济 协 调 和 可 持 续 发 展 的 全 局 问 题我 国 政