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紫外激光调研综述 王岩 紫外激光器前景 紫外相干光源在超高密度光驱、精密材料加工、紫外固化、光刻、光印刷、医疗、光谱分析和科学研究等领域有广泛的应用前景。 不同于红外激光加工的“热”处理过程，紫外光光子直接破坏材料表面的分子键，实现冷处理，并且因为波长较短，加工精度更高。 国外研究成果简介 1995年，索尼首次用全固体化紫外激光器产生输出1W以上的高功率四次谐波。 1996年，Photonics公司成功研制10瓦TEMoo模式351nm激光器，第二年功率提高到15瓦。 1999年，美国Coherent公司研制出当时最适合微处理应用的355nm固体激光器，在重复频率15kHz时可以得到高达1.5w的最大平均功率。 2001年美国光谱物理公司实现工业用的355nm紫外激光输出，其输出功率最高为8W，重复频率在10kHz和100kHz之间变化调频。 2004年，Photonics公司提供接近衍射极限功率高达25瓦355nm紫外激光器。另外相干公司AVIV系列产品可做到3W的266nm(30kHZ)和10W的355nm(40kHZ)激光器。 2007年，日本三菱电机研发出输出平均功率达到普通工业用水平10W的深紫外激光器。 2009年，相干公司采用腔内倍频LD泵浦调Q开关Nd:YAG双棒串接，通过将一种新型的双折射补偿技术，在重复率为10kHz时获得最高为420W的532nm输出功率，不稳定性小于0.7%有效值，在重复率为 8kHz时，获得160W的355nm紫外激光输出。 国内紫外激光器研究现状 国内最近几年开展了系列激光二极管泵浦全固态355nm紫外激光器研究，研究出的激光器输出功率较低，与国际水平有一定差距，但是也取得一些重大进展。 2002年，冯衍等研究人员利用双棒串接配置热致双折射补偿谐振腔，采用KTP II类相位匹配与LBOII类相位匹配腔外倍频、和频，实现高达3.4w重复频率为4kHz的355nm脉冲激光输出。 2005年，谭成桥等研究人员对LD端面泵浦的Nd:YAG被动调Q激光器进行实验研究，采用20w的激光二极管阵列，在抽运功率为14.5W时，采用腔外KTP倍频和腔外LBO三倍频及BBO四倍频，获得340mw的355nm和300mw的266nm激光输出。 2006年，毕向军采用LD泵浦Nd:YAG晶体，经过KTP和LBO晶体的倍频与和频，当抽运功率为100W，脉冲频率20kHz时，获得平均功率为450mw的355nm紫外激光，转换效率为8%。 2008年，董云升等研究人员对基频光双程倍频双程和频的方法进行研究，利用LBO晶体角度调谐I类相位匹配与LBO晶体II类相位匹配，当调制频率5.4kHz时，获得355nm激光最高平均输出功率为1.89W脉冲宽度小于65ns。 国内也有许多公司生产比较成熟中小功率紫外区固态激光器，例如北京国科提供窄脉宽瓦级准连续355nm紫外激光器，四川九斗星光电有限公司可生产高重复频率高峰值功率毫瓦级的355nm脉冲激光，另外深圳大族以及武汉光谷一些公司也销售紫外激光器。 总体来说，我国在国际上为数不多的从材料源头直到激光系统集成拥有整体优势的高技术领域之一，具备在部分领域加速发展良好研究基础，但由于装备制造业以及半导体工艺制作等关键技术落后，导致产业化与世界激光产业化方面还有一段距离。随着国内新型晶体材料进一步开发与半导体工艺水品提高，以及激光企业发展，在大功率激光器及紫外激光器研发和产业化方面，将会取得更大进步，与世界发达国家技术差距也将会越来越小。 非线性光学和频、倍频理论 由1064nm红外激光实现三倍频355nm紫外激光输出，要经过两个过程：1064nm基频光经倍频得到532nm绿光；基频光与倍频光再次和频，得到355nm紫外光。 倍频：ω2= ω1+ ω1；和频： ω3= ω1+ ω2 ω1基频波角频率，ω2二倍频波角频率，ω3三倍频波角频率。 倍频光的小信号近似 当倍频光小信号近似时，相应的入射基频光损耗可以忽略不计，用倍频光强I2与基频光强I1之比表示其转换效率，即倍频效率： 有公式可以看出△k=0是保证获得高效率倍频的关键因素，称为相位匹配条件。同时基频光的入射光强也是决定效率的关键因素。 角度的相位匹配 利用晶体的双折射特性来实现相位匹配的方法我们称为双折射相位匹配，如果频率为ω1的光波与频率为ω2地光波具有相同的偏振，此时的相位匹配为Ⅰ类相位匹配；反之，光波ω1与光波ω2具有正交的偏振，此时的相位匹配为Ⅱ类相位匹配；Ⅰ型和Ⅱ型相位匹配，是通过选择特定的角度θ来实现的，故称角度匹配。由于其匹配方向对角度很敏感（即稍稍偏离匹配角θ，便会找成相当大的效率降低），所以也称临界匹配，若匹配角度θ等于90°时称非临界相位匹配。