RENAInTex3碱槽滤芯频繁堵塞分析报告.pptVIP

* HK000M4I_Roadshow_1106 CONFIDENTIAL HK000M4I_Roadshow_1106 Prepared by: 杨辉 2010.1.19 HK000M4I_Roadshow_1106 Rena InTex3#碱槽滤芯频繁堵塞分析报告 Issue Description 时间: 2010.1.19 地点: RENA InTex3# 现象描述：我设备技术员观察碎片时发现碱槽碱洗流量报警. 立刻通知产线禁止投料生产.做好防护，完成排液,冲洗,清理碎片后.针对此次碱槽流量低原因展开分析！ Issue Description 分析此次叠片的原因 出刻蚀槽滚轮水平不平导致 1用水平仪测量滚轮水平时发现，出刻蚀槽前两组滚轮偏高 刻蚀槽挡板过高导致 2我们用假片测量滚轮的上o-ring和挡板之间的距离为3.5mm. 外围排风波动过大导致 3因为上次叠片是外围排风波动过大导致，此次排风负压值一直保持在350－400之间！ 出刻蚀槽后防倒灌风刀压力过小导致 4在没有动防倒灌风刀压力阀门的情况下，用纸做了个实验， 将纸放在出刻蚀处的滚轮上，纸片被排风一个劲向上吸！有将 防倒灌风刀压力调大时，观察纸片,没有刚才那么大的抖动. Action 通过以上测量和实验.西区工程人员总结此次叠片的原因是多方面的,为此对滚轮水平，刻蚀槽挡板，防倒灌风刀压力做一调整. 首先调整滚轮水平，将滚轮支架的固定螺丝松动之后，一个手用水平仪测量，一个手调节调节滚轮支架螺丝.待水平后.锁紧固定支架螺丝. 每道均要水平 Action 其次调整刻蚀槽挡板高度，松动固定挡板的10颗螺丝，将滚轮的上o-ring和挡板之间的距离为1.5－2mm之间,依次从左到右的顺序调整过来，将螺丝锁紧，防止螺丝过松导致挡板下滑，造成刻蚀不足. O-ring和挡板之间距离为1.5－2mm 锁紧固定螺丝防止挡板下滑 Action 最后调整防倒灌风刀压力大小，必须将两组风刀压力调到一致，前者风刀大时，片子到过来时,片子便会向上翘起！（原因外围排风向上抽，前者风刀同时又在向槽里吹气.形成底部助力.片子自然而然就向上翘起） 清洗槽 此风刀的作用就是防止清洗的脏水倒灌到刻蚀槽 此风刀的作用是防止酸性的水，带入碱槽.形成碱结晶. v 刻蚀槽 外围排风 Root Cause 此次叠片多方面造成.滚轮水平,挡板,风刀多原因造成.滚轮水平及挡板的原因可能是槽体有些变形,新设备在投入生产阶段，各个性能并不是很稳定，过了磨合期之后各个性能将会发挥出来，至于风刀是被Rena厂家人员误关， Prevention and Improvement 通过最近多次叠片事件总结以下经验 平时利用业余时间给自己充充电，提高自身业务水平 给技术员宣导设备点检重要性，一定要做到数据准确性 利用PM时间对设备进行体检，不放过每一个细节 对厂家作出不合理的事情，坚决进行阻止，维护公司利益 Thank You 谢谢 * * HK000M4I_Roadshow_1106 CONFIDENTIAL HK000M4I_Roadshow_1106