微系统的发展前景及我们的对策 微纳机电器件与系统发展产生的影响与面临的挑战 王跃林.pptVIP

assskk 2006-2010年MEMS产品市场预测 Bip-Chips RF MEMS MicroFludics MEMS displays MOEMS Gyroscopes Accelerators Si Microphones Pressure sensors Inkjet Head 微纳机电器件与系统发展 产生的影响与面临的挑战 王跃林 中科院上海微系统与信息技术研究所 科技发展的动力 套用世博口号：科技让生活更美好 人类需求：健康、舒适 MEMS/NEMS发展的动力：医学检测/治疗、通信消费电子、资源环境、国防安全等 MEMS/NEMS技术发展趋势 器件向系统发展 微米向纳米发展 推向应用加快 需求：微型化、高性能、低成本 器件向系统发展 单片集成制造技术 多芯片封装集成制造技术 微系统：医疗、航天等 微米向纳米发展 批量纳米制造技术 纳米效应及应用 微纳传感器 推向应用加快 性价比不断提高 应用领域不断扩大 市场总量不断增长 有兴趣的大公司不断增加 可能产生的影响 产生新的医疗模式：家庭医疗、微创医疗等 促进信息产业升级：开拓新的功能等 提供新的资源环境检测手段：寻找资源、环境监测等 促进武器装备更新换代：精确打击、航空航天等 面临的挑战 市场规模与产能的矛盾：寻找新的应用 工程化制造技术与集成制造技术 批量纳米制造技术：发展低成本纳米制造技术 纳米效应：机理、表征、应用 发展设想 开拓新的大规模应用：医学、通信消费、IC-MEMS等 开拓有重要意义的特殊应用：国防安全、资源环境等 制造技术的重复性、一致性与集成制造技术 形成共享制造技术平台 新型低成本纳米制造技术 纳米效应：机理、表征、应用 新型微纳器件与系统 Thank You!